Tetra 30

Плазменные установки низкого давления (Plasmacleaner)

Плазменные системы Tetra 30 могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Tetra 30.

Сделать запрос

 

Плазменные системы Tetra 30 используются преимущественно в следующих областях:

  •     Аналитика (REM, TEM)
  •     Археология
  •     Автомобилестроение
  •     Биотехнологии
  •     Технологии эластомеров
  •     Электротехника
  •     Электронная микроскопия
  •     Точная механика
  •     Исследование и разработка
  •     Полупроводниковая техника
  •     Мелкосерийное производство
  •     Технология пластмасс
  •     Медицинская техника
  •     Микросистемная техника
  •     Технология солнечных элементов
  •     Текстильные технологии

Различные модели

Модель 1

Модель 1, стандартная установка
Система управления BASIC PC в базовом устройстве типа A
Вакуумная камера прямоугольной формы, алюминий, дверца на петлях,
(Ш: 305 мм, Г: 370 мм, В: 300 мм)
Подача газа: 
MFC

Модель 2

Модель 2, стандартная установка
Система управления FULL PC в базовом устройстве типа A
Вакуумная камера прямоугольной формы, алюминий, дверца на петлях,
(Ш: 305 мм, Г: 370 мм, В: 300 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 3

Модель 3, версия для коррозионных газов (напр., для фторосодержащих технологических газов)
Система управления BASIC PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 1700 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, алюминий, дверца на петлях,
(Ш: 305 мм, Г: 370 мм, В: 300 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 4

Модель 4, версия для коррозионных газов (напр., для фторосодержащих технологических газов)
Система управления FULL PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 1700 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, алюминий, дверца на петлях,
(Ш: 305 мм, Г: 370 мм, В: 300 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 5

Модель 5, установка для плазменной полимеризации
Система управления BASIC PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 1700 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, алюминий, дверца на петлях
(Ш: 305 мм, Г: 370 мм, В: 300 мм)
Подача газа:
MFC

Модель 6

Модель 6, установка для плазменной полимеризации
Система управления FULL PC в базовом устройстве типа A
(Ш 600 мм x Г 800 мм x В 1700 мм)
Вакуумная камера прямоугольной формы, алюминий, дверца на петлях
(Ш: 305 мм, Г: 370 мм, В: 300 мм)
Подача газа:
MFC

Возможности плазменной обработки

Очистка материалов

Плазменная техника предлагает решения для удаления любого вида загрязнений, обработки любого субстрата и любого способа дополнительной обработки. В процессе очистки снимаются даже молекулярные следы загрязнений.

ПОДРОБНЕЕ ОБ ОЧИСТКЕ

Активация материалов

Обязательным условием для надлежащей адгезии связывающих компонентов при окрашивании, склеивании, нанесении методом печати и приварке является хорошая смачиваемость поверхности.

ПОДРОБНЕЕ ОБ АКТИВАЦИИ

Травление материалов

Плазменная техника позволяет осуществлять неизотропное и изотропное травление. Изотропное травление выполняется путем химического травления, неизотропное травление – путем физического.

ПОДРОБНЕЕ О ТРАВЛЕНИИ

Нанесение покрытий на материалы

Плазма низкого давления используется для нанесения различных покрытий на заготовки. В этом процессе газообразные и жидкие исходные материалы подаются в вакуумную камеру.

ПОДРОБНЕЕ О НАНЕСЕНИИ ПОКРЫТИЙ

Технические характеристики

Базовое оснащение

  •     Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
  •     Объем камеры: 34 - 57 литров (в зависимости от версии)
  •     Электропитание: 230 В или 400 В / 3 фазы

Подача газа

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Вакуумные камеры

  • Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 305 мм, В 300 мм x Г 370 мм или 625 мм)
  • Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 305 мм, В 300 мм x Г 370 мм или 625 мм)

Загрузка

  • Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло

Электроды

  •     Одно- или многоярусные
  •     Электрод RIE с газовым душем

Системы управления

  •     PCCE (Microsoft Windows CE)
  •     Компьютерная система управления (Microsoft Windows 10 IoT)

Измерение давления

  •     Датчик Пирани
  •     Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)

Таймер

  • Интегрирован в ПК

Генераторы

Частоты:

  • 80 кГц: мощность 1000 Вт или 3000 Вт
  • 13,56 МГц: мощность 0 - 300 Вт; 0 - 600 Вт
  • 2,45 ГГц: мощность 0 - 600 Вт; 0 - 1200 Вт

Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %

Вакуумные насосы

  • Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)

Опции

Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу.

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете