Plasmareiniger
Vor jeder weiteren Plasmabehandlung muss zuvor eine Plasmareinigung erfolgen, um überhaupt eine reine Materialoberfläche zur Verfügung zu haben.
Für eine vollständige Reinigung stehen die folgenden Prozesse zur Verfügung:
Im Allgemeinen können Niederdruck-Plasmaanlagen für unterschiedliche Plasmaprozesse eingesetzt werden. Ein wesentlicher Plasmaprozess ist die Reinigung. Grundsätzlich ist die Reinigung immer allen weiteren Plasmaprozessen vorgeschaltet. Eine universell einsetzbare Niederdruck-Plasmaanlage wird deshalb so ausgestattet, dass die wesentlichen Reinigungsvorgänge, insbesondere Reinigung im Sauerstoffplasma durchgeführt werden können. Eine solche für Reinigungsprozesse verwendete Niederdruck-Plasmaanlage wird deshalb auch als Plasmareiniger bezeichnet.
