Pulitore al plasma
Prima di ogni ulteriore trattamento al plasma, occorre effettuare una pulizia al plasma per disporre di una superficie pura di materiale. Per ottenere una pulizia completa sono disponibili i seguenti processi:
In generale, gli impianti al plasma a bassa pressione possono essere utilizzati per diversi processi al plasma. Un processo al plasma fondamentale è la pulizia. In linea di principio, la pulizia viene sempre effettuata prima di tutti gli altri processi al plasma. Un impianto al plasma a bassa pressione di impiego universale è quindi allestito in modo tale da consentire l'esecuzione dei processi di pulizia essenziali, in particolare la pulizia in plasma di ossigeno. Un impianto al plasma a bassa pressione utilizzato per i processi di pulizia viene quindi denominato anche pulitore al plasma.
