Systèmes de nettoyage au plasma
Avant tout autre traitement au plasma, il faut effectuer un nettoyage au plasma, afin de disposer d'une surface de matériau pure. Pour un nettoyage complet, les processus suivants sont disponibles :
En général, les systèmes plasma basse pression peuvent être utilisés pour différents processus plasma. Un processus plasma essentiel est le nettoyage. En général, le nettoyage est toujours activé avant tous les autres processus plasma. C'est pourquoi un système plasma basse pression universel est équipé de manière à ce que les processus de nettoyage essentiels, en particulier le nettoyage au plasma d'oxygène, puissent être effectués. Un tel système plasma basse pression utilisé pour les processus de nettoyage est donc également appelé nettoyeur plasma.
