Limpiador de plasma
Antes de cualquier tratamiento con plasma, debe realizarse previamente una limpieza con plasma para disponer de una superficie del material totalmente pura. Para una limpieza completa, se ofrecen los siguientes procesos:
En general, los sistemas de plasma de baja presión pueden utilizarse para procesos con plasma de diversa índole. Uno de los principales procesos con plasma es la limpieza. Básicamente, la limpieza precede siempre a los demás procesos con plasma. Por ello, un sistema de plasma de baja presión de uso universal está equipado de tal modo que permita realizar los procedimientos de limpieza fundamentales, sobre todo, la limpieza en el plasma de oxígeno. En consecuencia, un sistema de plasma de baja presión de este tipo que se utilice para procesos de limpieza también recibe el nombre de limpiador de plasma.
