Глоссарий технологии обработки поверхностей
Устройство плазменной очистки
плазменной обработки должна быть выполнена плазменная очистка , открывающая доступ к чистой поверхности материала. Для обеспечения полной очистки существуют следующие методы:
плазменные установки низкого давления могут применяться в различных плазменных процессах . Важным плазменным процессом является очистка. Очистка всегда предшествует другим процессам плазменной обработки. По этой причине универсальные плазменные установки низкого давления оснащаются таким образом, чтобы с ними можно было выполнять основные операции очистки, в частности очистку в кислородной плазме. Плазменную установку низкого давления, используемую для очистки, также называют устройством плазменной очистки.
