Plasmaanregung

Wenn die Atome eines Gases so stark angeregt werden, dass Elektronen aus dem Atomverbund gerissen werden und dadurch Ionen entstehen, entsteht ein Plasma

Diese Anregung kann erfolgen durch:

Anregung durch extreme Temperaturen

Prozess der Plasmaanregung in Sternen.

99% der Materie im Universum besteht aus Plasma.

Hochfrequenzanregung

Durch hochfrequente elektrische Felder lässt sich ebenfalls ein Plasma anregen. Je höher die Anregungsfrequenz und je geringer der Gasdruck ist, um so leichter und mit geringerer Energie wird ein Plasma angeregt.

In der Niederdruckplasma-Technik wird das Plasma durch elektromagnetische Hochfrequenzfelder angeregt.

Das Besondere:

  1. In der evakuierten Plasmakammer (Rezipient) kann in fast jedem gasförmigen Stoff ein Plasma angeregt werden
  2. Das durch Hochfrequenz angeregte Plasma ist kalt

In der Plasmatechnik erfolgt die Anregung durch die freigegebenen ISM-Frequenzen 40 kHz13,56 MHz oder 2,45 GHz.

Gasentladung

Zur Gasentladung kommt es unter Hochspannung in starken elektrischen Feldern.

Durch Gasentladung angeregtes Plasma findet man:

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