Глоссарий технологии обработки поверхностей
Высокочастотное возбуждение
Высокочастотными электрическими полями тоже может возбуждаться плазма . Чем выше частота возбуждения и ниже давление газа, тем легче и с меньшей энергией возбуждается плазма. В плазменной технике низкого давленияплазма возбуждается электромагнитными высокочастотными полями. Особенность:- В вакуумированной плазменной камере (реципиент) плазма может быть возбуждена почти в любом газообразном материале
- Высокой частотой возбуждается холодная плазма
В плазменной технике для возбуждения используются выделенные ISM-частоты 40 кГц, 13,56 МГц или 2,45 ГГц.
Газовый разряд
Газовый разряд возникает при высоком напряжении в мощных электрических полях. Возбужденная газовым разрядом плазма присутствует:
- В молниях
- В газоразрядных лампах (неоновая трубка)
- В электрической дуге (коронный разряд)
- В атмосферных плазменных установках (Plasmabeam)
