Lexikon der Oberflächentechnik
MHz-Plasmasysteme
Plasmaanlage, bei der die Anregung des Plasmas durch hochfrequente elektromagnetische Strahlung im MHz-Frequenzbereich erfolgt. Für technische Zwecke ist die Frequenz 13,56 MHz freigegeben, die auch von Plasmageneratoren von Diener electronic genutzt wird.