Lexikon der Oberflächentechnik

MHz-Plasmasysteme

Plasmaanlage, bei der die Anregung des Plasmas durch hochfrequente elektromagnetische Strahlung im MHz-Frequenzbereich erfolgt. Für technische Zwecke ist die Frequenz 13,56 MHz freigegeben, die auch von Plasmageneratoren von Diener electronic genutzt wird.

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