Глоссарий технологии обработки поверхностей
МГц-системы
плазмы осуществляется высокочастотным электромагнитным излучением в мегагерцовом диапазоне частот. Для технических целей выделена частота 13,56 МГц , она же и используется плазменными генераторами Diener electronic.