Magazin

Im homogenen Niederdruckplasma lassen sich in einer Plasmakammer in der Serienproduktion auch große Stückzahlen parallel behandeln. Oft werden hierfür Drehtrommeln oder Magazine verwendet.
Ein Magazin ist eine mehrstöckige Halterung in der eine Vielzahl von Kleinteilen geordnet platziert werden kann. Dies erlaubt eine optimale Nutzung des Kammervolumens bei gleichzeitig definierter Positionierung jedes behandelten Teils. Wenn eine Berührung der Teile untereinander während des Prozesses unerwünscht ist oder wenn die Teile mechanisch sehr empfindlich sind, ist die Verwendung von Magazinen der Drehtrommel-Methode vorzuziehen. Magazine werden vielfach für Plasmareinigen, Plasmaätzen oder Plasmabeschichten von Bauteilen für die Mikroelektronik wie IC und Leadframes verwendet.