Magasin

Dans le plasma basse pression homogène, il est possible de traiter de grandes quantités de pièces en série dans une chambre à plasma. Pour cela, on utilise fréquemment des tambours rotatifs ou des magasins. 
Un magasin est un support à plusieurs étages dans lequel un grand nombre de petites pièces peuvent être placées de manière ordonnée. Ceci permet une utilisation optimale du volume de la chambre avec un positionnement défini simultanément de chaque pièce traitée. Si le contact entre les pièces pendant le processus n'est pas souhaitable ou si les pièces sont mécaniquement très sensibles, l'utilisation de magasins est préférable à la méthode du tambour rotatif. Des magasins sont utilisés pour le nettoyage au plasma, la gravure ionique réactive ou l'enduction plasmatique de pièces dans le secteur micro-électronique, telles que IC et leadframes.  

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