Cargador

En la producción en serie, en el plasma de baja presión homogéneo puede tratarse un gran número de piezas en paralelo en una cámara de plasma. Para ello, a menudo se emplean tambores giratorios o cargadores. 
Un cargador es un soporte de varios pisos en el que pueden colocarse numerosas piezas pequeñas de forma ordenada. Esto permite aprovechar a la perfección el volumen de la cámara y, al mismo tiempo, identificar la posición de cada una de las piezas tratadas. Si no se desea que las piezas se toquen durante el proceso, o si las piezas poseen una elevada sensibilidad mecánica, cabe anteponer el uso de cargadores al método del tambor giratorio. Se utilizan cargadores en muchas aplicaciones de limpieza con plasma, grabado con plasma o recubrimiento con plasma de componentes para microelectrónica, como CI y leadframes.  

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