Supporti

Nel plasma omogeneo a bassa pressione, possono essere trattati in parallelo in una camera di plasma anche grandi quantitativi per la produzione in serie. Spesso vengono utilizzati allo scopo tamburi rotanti o supporti. 
Un supporto è un contenitore a più piani in cui è possibile collocare ordinatamente un gran numero di piccoli pezzi. In questo modo è possibile sfruttare al meglio il volume della camera con un posizionamento definito di ogni pezzo trattato simultaneamente ad altri. Se non si desidera il contatto tra i pezzi durante il processo o se i pezzi sono molto sensibili dal punto di vista meccanico, è consigliabile l'uso di supporti rispetto al metodo del tamburo rotante. I supporti vengono spesso utilizzati per i processi di pulizia al plasma, acidatura al plasma o rivestimento al plasma di componenti microelettronici come circuiti integrati e telai di piombo .  

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