Магазин

плазме низкого давления в рамках серийного производства можно параллельно в одной плазменной камере обрабатывать крупные партии изделий. Часто для этой цели используются вращающиеся барабаны или магазины. 
Магазин – это многоуровневый держатель для упорядоченного размещения большого количества мелких деталей. Такое устройство позволяет оптимально использовать рабочий объем камеры и целенаправленно позиционировать каждую обрабатываемую деталь. Если касание деталей друг с другом во время процесса нежелательно или если детали обладают высокой чувствительностью, преимущественно используются вращающиеся барабаны. Магазины широко используются в плазменной очистке, плазменном травлении и плазменном нанесении покрытий при обработке микроэлектронных компонентов – ИС и выводных рамок .