Faraday

Michael Faraday, geboren 1791, war ein englischer Naturforscher, der grundlegende elektrotechnische Untersuchungen unternahm. Detailliert untersuchte er beispielsweise die Elektrolyse. Nach ihm benannt ist die physikalische Einheit für die Ladungskapazität [F] = [Farad]. Die Kapazität von Kondensatoren wird in dieser Einheit angegeben.

Nach Faraday benannt ist auch der Faradaysche Käfig.
Ein Faradayscher Käfig ist ein Metallgehäuse. Elektromagnetische Felder im Innern des Faradayschen Käfigs dringen nicht nach außen und umgekehrt. Er dient also zur elektromagnetischen Abschirmung und wird für elektrisch empfindliche Bauteile verwendet.

Für manche Plasmaprozesse benötigt man ein potentialfreies Plasma oder will die Wirkung von Ionen und Elektronen vermeiden, falls beispielsweise eine Aufladung des Substrats vermieden werden soll. In diesem Fall befindet sich das Substrat in der Faradaybox, in der angeregte Atome und Radikale wirksam sind, aber keine Ionen.