Faraday
Michael Faraday, nacido en 1791, fue un científico inglés que efectuó investigaciones electrotécnicas fundamentales. Por ejemplo, estudió a fondo la electrólisis. De su nombre, deriva la unidad física de capacidad eléctrica [F] = [faradio], que se emplea para indicar la capacitancia de los condensadores. También deriva de su nombre la jaula de Faraday.
Una jaula de Faraday es una carcasa metálica en la que los campos electromagnéticos del interior no se extienden al exterior, y viceversa. Por lo tanto, proporciona apantallamiento electromagnético. Para algunos procesos con plasma, se necesita un plasma libre de potencial o se desea evitar el efecto de iones y electrones si, por ejemplo, debe impedirse que se cargue el sustrato. En tal caso, el sustrato se ubica en la jaula de Faraday, en la que están activos los átomos y radicales excitados, pero no los iones.