Faraday
Michael Faraday, nato nel 1791, era uno scienziato naturalista inglese che svolse ricerche di fondamentale importanza nel campo dell’elettrotecnica. Egli dedicò studi approfonditi al processo d'elettrolisi. Porta il suo nome l'unità fisica della capacità di carica [F] = [Farad]. La capacità dei condensatori è indicata con questa unità. Anche la gabbia di Faraday deriva il suo nome da questo scienziato.
Una gabbia di Faraday è un alloggiamento metallico. I campi elettromagnetici all'interno della gabbia di Faraday non si propagano all'esterno e viceversa. Funge quindi da schermatura elettromagnetica. Per alcuni processi al plasma è necessario un plasma a potenziale zero o se si intende evitare l'effetto di ioni e di elettroni , se ad esempio si vuole evitare di caricare il substrato. In questo caso, il substrato si trova all’interno della gabbia di Faraday, in cui sono presenti atomi e radicali eccitati, ma non ioni.