Фарадей

Клетка Фарадея представляет собой металлический корпус. Электромагнитные поля, действующие внутри клетки Фарадея, не проникают наружу и наоборот. Таким образом, это средство электромагнитного экранирования. Для некоторых плазменных процессов необходима беспотенциальная плазма либо желательно избежать действия ионов и электронов , чтобы предотвратить накопление заряда на субстрате. В таком случае субстрат помещают в клетку Фарадея, в которой действуют возбужденные атомы и радикалы , но не ионы.