Faraday

Michael Faraday, né en 1791, était un scientifique naturel anglais qui a entrepris des recherches électrotechniques fondamentales. Il s'est, par exemple, penché à fond sur l'électrolyse. L'unité physique de la capacité de charge [F] =[Farad] porte son nom. La capacité des condensateurs est exprimée avec cette unité La cage de Faraday porte également le nom de Faraday.
Une cage de Faraday est un boîtier métallique. Les champs électromagnétiques à l'intérieur de la cage de Faraday ne pénètrent pas à l'extérieur et inversement. Il sert donc de bouclier électromagnétique. Pour certains processus plasma, un plasma sans potentiel est nécessaire ou l'effet des ions et électrons doit être évité si l'on veut éviter, par exemple, de charger le substrat. Dans ce cas, le substrat se trouve dans la cage de Faraday, dans laquelle les atomes et les radicaux excités sont efficaces, mais pas les ions.