Генераторы

Для плазменных установок

Для функционирования плазменной установки необходим плазменный генератор. При этом наиболее подходящая частота для используемой плазменной технологии варьируется в зависимости от случая применения. В дополнение к традиционным плазменным генераторам Diener electronic с рабочей частотой 40 кГц и 2,45 ГГц в ассортимент продукции не так давно вошли генераторы собственной разработки на 13,56 МГц мощностью 100 и 300 Вт

Основными областями применения для обеих мощностей являются такие технологии плазменной обработки, как активация, очистка, травление, обработка полупроводников (front-end) и (back-end), плазменная полимеризация. Согласование полного сопротивления может осуществляться как в ручном (handmatching), так и в автоматическом (automatching) режимах, но в любом случае оно необходимо. По этой причине ВЧ-система состоит из генератора и согласующего устройства.

При ручном согласованиисогласующее устройство настраивается при каждом запуске процесса и периодически контролируется и подстраивается во время работы, поэтому конденсаторы настраиваются автоматически и регулируются по мере изменений.

Также возможны индикациямощности в прямом и обратном направлениях, аварийное отключение с помощью дверного выключателя и аварийного вакуумного выключателя, кварцевая стабилизация частоты для соблюдения требований DIN EN 55011, порт для подключения к ПК. 

Генератор 2,45 ГГц (микроволновый)

Мощность может составлять до 850 Вт, генератор оснащается портом для подключения к ПК. Основными областями применения являются активация, очистка, травление, обработка полупроводников (front-end) и (back-end), плазменная полимеризация.

Микроволновый генератор предлагается также с мощностью 1200 Вт.

 

Технические характеристики: 

Макс. выходная мощность    1200 Вт
Макс. выходной ток    300 мА
Макс. выходное напряжение    5000 В
Макс. потребляемая мощность    < 1300 Вт
Макс. потребление тока    9 А 
(без PFC)
Сетевое напряжение     210...250 В перем. тока
Эффективность    > 95 % (при номинальной мощности)
Регулирование мощности    Ток: 0...300 мА
Мощность: 0...1200 Вт
Импульсный режим: 100 мкс...100 мс (импульс/пауза)
Отклонение регулируемой величины    ± 5 % (от макс. значения, с температурной компенсацией)
Охлаждение:    воздух, макс. 70 л/мин, регулирование по температуре
Окружающая температура    +15...+40 °C
Время расцепления при ошибке нагрузки:    короткое замыкание/разомкнутый контур < 1 с, ошибка регулирования < 5 с
Размеры    < 485 x 145 x 290 мм (шxвxг)
Вес    прибл. 6,0 кг

Скачать проспект

Генератор 13,56 МГц, 100 Вт 

Области применения высокочастотных генераторов 

  • Плазма низкого давления
  • Высокочастотный нагрев

Высокочастотный генератор 13,56 МГц, 100 Вт 

  • Номинальная выходная ВЧ-мощность: 100 Вт
  • Частота: 13,560 МГц ± 100 ppm
  • Настраиваемая выходная ВЧ-мощность: 0 - 100 Вт, постоянная
  • Импульсный режим: мин. время включения: 5 мкс
  • Полное сопротивление: 50 Ом
  • Высокочастотная стабильность: менее 5 % (в зависимости от используемого согласующего устройства)
  • Встроенная защита от ошибки согласования при разомкнутом выходе и коротком замыкании
  • Макс. рассогласование без снижения мощности: VSWR = 1,2
  • Включение ВЧ с полной нагрузкой
  • Сетевое подключение: 88 - 264 В / 47 - 63 Гц (в сочетании с внешним электропитанием)
  • Потребляемая мощность: макс. 220 Вт
  • Подключение для удаленного управления: ВЧ вкл./выкл., настройка ВЧ-мощности (0...10 В = 0 ... 100 %)
  • ВЧ-выход: гнездо типа N
  • Сетевое подключение: внешний модуль электропитания
  • Вес: ок. 6,5 кг (генератор) плюс 1,0 кг (блок питания)

Свяжитесь с нами для получения технической консультации по этим установкам.

Скачать проспект

Генератор 13,56 МГц, 300 Вт 

Области применения высокочастотных генераторов 

  • Плазма низкого давления
  • Высокочастотный нагрев

Высокочастотный генератор 13,56 МГц, 300 Вт 

  • Номинальная выходная ВЧ-мощность: 300 Вт
  • Частота: 13,560 МГц ± 100 ppm
  • Настраиваемая выходная ВЧ-мощность: 0 - 300 Вт, постоянная
  • Импульсный режим: мин. время включения: 5 мкс
  • Полное сопротивление: 50 Ом
  • Высокочастотная стабильность: менее 5 % (в зависимости от используемого согласующего устройства)
  • Встроенная защита от ошибки согласования при разомкнутом выходе и коротком замыкании
  • Макс. рассогласование без снижения мощности: VSWR = 1,2
  • Включение ВЧ с полной нагрузкой
  • Сетевое подключение: 88 - 264 В / 47 - 63 Гц 
  • Потребляемая мощность: макс. 580 Вт
  • Подключение для удаленного управления: ВЧ вкл./выкл., настройка ВЧ-мощности (0...10 В = 0 ... 100 %), автоматическое согласующее устройство, управление через ПК или плазменную установку
  • ВЧ-выход: гнездо типа N
  • Сетевое подключение: встроенный штекер IEC с фильтром
  • Вес: ок. 18 кг 

Свяжитесь с нами для получения технической консультации по этим установкам.

Скачать проспект

Генератор LFG, 500 Вт

Макс. выходная мощность: 500 Вт
Макс. выходной ток: 1,3 А
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока
Макс. потребляемая мощность: 560 Вт
Входное напряжение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц
Входной ток: макс. 2,6 А
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)
Режим согласования мощности: токовый режим: 0,1 - 1,3 А, режим мощности: 10 - 500 Вт (через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
•    Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
•    Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс

Точность: более ±5 % конечного значения
Защита от рассогласования из-за разомкнутого контура или короткого замыкания
•    Время выключения при размыкании контура/коротком замыкании
: < 1 с
•    Время выключения при ошибке согласования
: < 5 с
Синхронизированный параллельный режим
Диапазон температур (при эксплуатации): +15 - +40 °C
Охлаждение: макс. объем воздуха 70 м³/ч; присоединения:
•    DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные системы (напряжение 24/10 В)
Вес: 5,6 кг
Применение:
•    Плазменные генераторы низкого давления

Скачать проспект

Генератор LFG, 1000 Вт

Макс. выходная мощность: 1200 Вт    
Макс. выходной ток: 4 А    
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока    
Макс. потребляемая мощность: 1500 Вт    
Входное напряжение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц    
Входной ток: макс. 3x 5 А    
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)    
Режим согласования мощности: токовый режим: 1 - 4 А, режим мощности: 300 - 3000 Вт (через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
•    Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
•    Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс    
Точность: более ±5 % конечного значения    
Защита от рассогласования из-за разомкнутого контура или короткого замыкания
•    Время выключения при размыкании контура/коротком замыкании
: < 1 с
•    Время выключения при ошибке согласования
: < 5 с    
Синхронизированный параллельный режим    
Диапазон температур (при эксплуатации): +15 - +40 °C    
Охлаждение: макс. объем воздух 70 м³/ч    

Присоединения:
•    DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные системы (напряжение 24/10 В)    
Вес: 18 кг    
Применение:
•    Плазменные генераторы низкого давления    

Скачать проспект

Генератор LFG, 3000 Вт

Макс. выходная мощность: 3000 Вт    
Макс. выходной ток: 10 А    
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока    
Макс. потребляемая мощность: 3600 Вт    
Входное напряжение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц    
Входной ток: макс. 3x 7 А    
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)    
Режим согласования мощности: токовый режим: 1 - 4 А, режим мощности: 300 - 3000 Вт (через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
•    Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
•    Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс    
Точность: более ±5 % конечного значения    
Защита от рассогласования из-за разомкнутого контура или короткого замыкания
•    Время выключения при размыкании контура/коротком замыкании
: < 1 с
•    Время выключения при ошибке согласования
: < 5 с    
Синхронизированный параллельный режим    
Диапазон температур (при эксплуатации): +15 - +40 °C    
Охлаждение: макс. объем воздух 70 м³/ч    

Присоединения:
•    DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные системы (напряжение 24/10 В)    
Вес: 18 кг    
Применение:
•    Плазменные генераторы низкого давления

Скачать проспект

Генератор LFG, 5000 Вт

Макс. выходная мощность: 5000 Вт
Макс. выходной ток: 10 А
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока
Макс. расход энергии: 5700 А
Сетевое подключение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц
Входной ток: макс. 3 x 7 А
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)
Настройка мощности: токовый режим: 1 – 4A, режим мощности: 300 – 3000 Вт
(через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
•    Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
•    Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс
Точность: < ±5 % конечного значения
Ошибка согласования мощности при разомкнутом выходе и коротком замыкании
•    Время выключения при открытой нагрузке: < 1 с.
•    Время выключения при ошибке настройки: < 5 с
Синхронный параллельный режим
Диапазон рабочих температур: +15 - +40 °C
Охлаждение: макс. расход воздуха 323 м³/ч (управление по температуре)
Интерфейсы:
•    DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные устройства управления (напряжение 24/10 В)
Вес: 18 кг
Применение:
•    Генератор плазмы низкого давления

Скачать проспект

Прочие аксессуары к генераторам:

Измерение напряжения смещения

Для измерения напряжения смещения предлагается измерительный прибор к кГц- и МГц-генераторам.

Тестер микроволновых утечек

Ввиду опасности излучения при эксплуатации микроволновых установок целесообразно монтировать тестер микроволновых утечек.

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете