Générateurs
Pour systèmes plasma
Pour fonctionner, un système plasma a besoin d'un générateur. Il n'est pas possible de répondre d'une manière générale à la question de savoir quelle fréquence est la meilleure pour l'application plasma souhaitée, mais il faut décider au cas par cas. Vu que Diener electronic propose, depuis des années déjà, des générateurs de plasma d'une fréquence de 40 kHz et 2,45 GHz, sa gamme de produit s'élargit désormais avec les générateurs de 13,56 MHz et de 100 et 300 watts développés et produits dans l'usine.
Les applications principales des deux versions sont l'activation, le nettoyage, la gravure plasma, les semi-conducteurs (front-end) et (back-end) et la polymérisation plasma. L'adaptation d'impédance peut s'effectuer aussi bien manuellement (handmatching) qu'automatiquement (automatching), ceci s'avérant en tout cas nécessaire. C'est la raison pour laquelle un système HF comprend un générateur une adaptation (matching).
Alors que l'adaptation est réglée à chaque démarrage du processus pour l'adaptation manuelle (handmatching) puis temporairement contrôlée et ajustée, les condensateurs sont automatiquement réglés et ajustés en cas de modifications.
En outre, il est également possible d'afficher la puissance directe et la puissance réfléchie, la coupure de sécurité par interrupteur de porte et interrupteur de sécurité du vide, la fréquence stabilisée au quartz, afin de satisfaire à la norme DIN EN 55011, et une interface ordinateur.
Générateur 2,45 GHz (micro-ondes)
La puissance de sortie va de 0 à 850 watts, le générateur disposant d'une interface PC. Les applications principales sont l'activation, le nettoyage, la gravure plasma, les semi-conducteurs (front-end) et (back-end) et la polymérisation plasma.
Le générateur de micro-ondes est également disponible avec 1200 watts.
Caractéristiques techniques :
Puissance de sortie maxi 1.200 W
Courant de sortie maxi 300 mA
Tension de sortie maxi 5.000 V
Consommation de puissance maxi < 1.300 W
Consommation électrique maxi 9 ARMS
(pas de PFC)
Tension de réseau 210...250 VAC
Efficacité > 95 % (à puissance nominale)
Régulation de puissance Courant : 0...300 mA
Puissance : 0...1.200 W
Burst : 100µ...100ms (durée impulsion / pause)
Divergence de régulation ± 5 % (de la valeur maxi, compensée par température)
Refroidissement air, 70 l/min maxi, régulé par température
Température ambiante +15...+40 °C
Temps de déclenchement d'erreur de charge court-circuit/marche à vide < 1 sec, erreur de régulation < 5 s
Dimensions < 485 x 145 x 290 mm³ (lxhxp)
Poids 6,0 kg env.
Générateur 13,56 MHz, 100 W
Champs d'application des générateurs RF :
- Plasma basse pression
- Chauffage RF
Générateur RF 13,56 MHz, 100 W
- Puissance de sortie nominale RF 100 watts
- Fréquence : 13,560 MHz ± 100 ppm
- Puissance de sortie RF réglable : 0 - 100 watts, en continu
- Le générateur peut être pulsé : mini o-time : 5µs
- Impédance : 50 Ohms
- Stabilité RF : inférieure à 5 % (en fonction de l'appareil d'adaptation utilisé)
- Protection en cas de désadaptation d’impédance de la sortie ouverte jusqu'au court-circuit montée
- Désadaptation maxi sans réduction de puissance : VSWR = 1,2
- RF pouvant être enclenché sous pleine charge
- Raccord secteur : 88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz (en liaison avec alimentation électrique externe)
- Consommation de puissance 220 watts maxi
- Raccord télécommande pour : - RF marche/arrêt- Réglage de puissance RF (0...10 V = 0 ... 100 %)
- Sortie RF : Douille N
- Raccord secteur : module d'alimentation électrique externe
- Masse : 6,5 kg env. (générateur) plus 1,0 kg (bloc secteur)
N'hésitez pas à nous contacter si vous avez besoins de conseils techniques relatifs à ces installations.
Générateur 13,56 MHz, 300 W
Champs d'application des générateurs RF :
- Plasma basse pression
- Chauffage RF
Générateur RF 13,56 MHz, 300 W
- Puissance de sortie nominale RF 300 watts
- Fréquence : 13,560 MHz ± 100 ppm
- Puissance de sortie RF réglable : 0 - 300 watts, en continu
- Le générateur peut être pulsé : mini o-time : 5µs
- Impédance : 50 Ohms
- Stabilité RF : inférieure à 5 % (en fonction de l'appareil d'adaptation utilisé)
- Protection en cas de désadaptation d’impédance de la sortie ouverte jusqu'au court-circuit montée
- Désadaptation maxi sans réduction de puissance : VSWR = 1,2
- RF pouvant être enclenché sous pleine charge
- Raccord secteur : 88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz
- Consommation de puissance 580 watts maxi
- Raccord télécommande pour : - RF marche/arrêt, réglage de puissance RF (0...10 V = 0 ... 100 %), appareil d'adaptation automatique, commande PC ou système plasma
- Sortie RF : Douille N
- Raccord secteur : connecteur CEI avec filtre
- Poids : 18 kg env.
N'hésitez pas à nous contacter si vous avez besoins de conseils techniques relatifs à ces installations.
Générateur LFG, 500W
Puissance de sortie maxi : 500W
Courant de sortie maxi : 1,3A
Tension de sortie maxi : 1200VAC
Consommation de puissance maxi : 560W
Tension d'entrée : 210...230VAC 50/60Hz
Courant d'entrée : 2,6 Arms maxi
Efficacité : > 90 % (à puissance nominale)
Mode adaptation de puissance : Mode courant : 0,1A - 1,3A Mode puissance : 10W - 500W (par DSUB ou intégration PC) Mode pulsé :
• Largeur d'impulsion : 100µs - 100ms
• Temporisation d'impulsion : 100µs / 100ms
Précision : plus de ±5 % de la valeur finale
Protection contre les défauts d'adaptation contre la marche à vide et les courts-circuits
• Temps d'arrêt en cas de marche à vide/court-circuit
: < 1 s
• Temps d'arrêt en cas d'erreur d'adaptation
: < 5 s
Mode parallèle synchronisé
Plage de températures (en service) : +15 - +40 °C
Refroidissement maxi : 70 m³/h Raccords de flux d'air :
• DSUB25 (femelle) pour télécommande à l'aide de systèmes industriels (niveau de tension 24/10V)
Poids : 5,6 kg
Applications :
• Générateurs plasma basse pression
Générateur LFG, 1000W
Puissance de sortie maxi : 1200W
Courant de sortie maxi : 4A
Tension de sortie maxi : 1200VAC
Consommation de puissance maxi : 1500W
Tension d'entrée : 210...230VAC 50/60Hz
Courant d'entrée : 3x 5 Arms maxi
Efficacité : > 90 % (à puissance nominale)
Mode adaptation de puissance : Mode courant : 1A - 4A Mode puissance : 300W - 3000W (par DSUB ou intégration PC) Mode pulsé :
• Largeur d'impulsion : 100µs - 100ms
• Temporisation d'impulsion : 100µs / 100ms
Précision : plus de ±5 % de la valeur finale
Protection contre les défauts d'adaptation contre la marche à vide et les courts-circuits
• Temps d'arrêt en cas de marche à vide/court-circuit
: < 1 s
• Temps d'arrêt en cas d'erreur d'adaptation
: < 5 s
Mode parallèle synchronisé
Plage de températures (en service) : +15 - +40 °C
Refroidissement maxi : 70 m³/h Raccords de flux
d'air
• DSUB25 (femelle) pour télécommande à l'aide de systèmes industriels (niveau de tension 24/10V)
Poids : 18 kg
Applications :
• Générateurs plasma basse pression
Générateur LFG, 3000W
Puissance de sortie maxi : 3000W
Courant de sortie maxi : 10A
Tension de sortie maxi : 1200VAC
Consommation de puissance maxi : 3600W
Tension d'entrée : 210...230VAC 50/60Hz
Courant d'entrée : 3x 7 Arms maxi
Efficacité : > 90 % (à puissance nominale)
Mode adaptation de puissance : Mode courant : 1A - 4A Mode puissance : 300W - 3000W (par DSUB ou intégration PC) Mode pulsé :
• Largeur d'impulsion : 100µs - 100ms
• Temporisation d'impulsion : 100µs / 100ms
Précision : plus de ±5 % de la valeur finale
Protection contre les défauts d'adaptation contre la marche à vide et les courts-circuits
• Temps d'arrêt en cas de marche à vide/court-circuit
: < 1 s
• Temps d'arrêt en cas d'erreur d'adaptation
: < 5 s
Mode parallèle synchronisé
Plage de températures (en service) : +15 - +40 °C
Refroidissement maxi : 70 m³/h Raccords de flux
d'air
• DSUB25 (femelle) pour télécommande à l'aide de systèmes industriels (niveau de tension 24/10V)
Poids : 18 kg
Applications :
• Générateurs plasma basse pression
Générateur LFG, 5000W
Puissance de sortie maxi : 5000W
Courant de sortie maxi : 10A
Tension de sortie maxi : 1200VAC
Consommation de puissance maxi : 5700A
Raccordement secteur : 210...230VAC 50/60Hz
Courant d'entrée : 3 7 Arms maxi
Efficacité : > 90 % (à puissance nominale)
Réglage de puissance : Mode courant : 1A – 4A Mode puissance (Power) : 300W – 3000W
(par connexion DSUB ou PC) Mode Burst :
• Largeur d'impulsion : 100µs - 100ms
• Temporisation d'impulsion : 100µs - 100ms
Précision : < ±5 % de la valeur finale
Différence de charge pour « sortie ouverte » et « court-circuit »
• Temps de déconnexion en charge ouverte : <1s
• Temps d'arrêt en cas d'erreur de réglage : < 5 s
Mode parallèle synchrone
Plage de températures de service : +15 - +40 °C
Refroidissement maxi : 323 m³/h débit d'air : (commandé par la température
Interfaces :
• DSUB25 (femelle) pour télécommande à l'aide de systèmes industriels (niveau de tension 24/10V)
Poids : 18 kg
Applications :
• Générateurs plasma basse pression
