Generatori

Per impianti al plasma

Per il funzionamento di un impianto al plasma è necessario un generatore. Non è possibile indicare in generale quale sia la frequenza migliore per l'applicazione al plasma desiderata, che dovrà essere definita caso per caso. Dopo aver offerto per anni generatori al plasma con una frequenza di 40 kHz e 2,45 GHz nella sua gamma di prodotti, Diener electronic ha integrato la sua offerta con generatori da 13,56 MHz e 100 e 300 watt, sviluppati e prodotti in azienda. 

I principali campi di utilizzo di entrambe le potenze sono le applicazioni al plasma di attivazione, pulizia, acidatura, i semiconduttori (front-end e back-end) e la polimerizzazione al plasma. L’adattamento dell'impedenza può avvenire sia manualmente (handmatching) che automaticamente (automatching)  ed è comunque necessario. Per tale ragione, il sistema HF è costituito da generatore e abbinamento.

Mentre nella funzione di handmatchingl'accoppiamento deve essere impostato ad ogni avvio del processo e controllato e regolato sporadicamente nel corso del processo, i condensatori vengono impostati automaticamente e regolati in caso di modifiche.

È inoltre possibile visualizzare la potenza di marcia in avanti e indietro, l’arresto di sicurezza tramite interruttore porta e vacuostato di sicurezza, la frequenza stabilizzata al quarzo a norma DIN EN 55011 e un'interfaccia PC. 

Generatore da 2,45 GHz (microonde)

La potenza va da 0 a 850 watt e il generatore è dotato di interfaccia PC. I principali campi di utilizzo sono l'attivazione, la pulizia, l'acidatura, i semiconduttori (front-end e back-end) e la polimerizzazione al plasma.

Il generatore a microonde è disponibile anche nella versione da 1200 watt.

 

Dati tecnici: 

Potenza max. di uscita    1.200 W
Corrente max. di uscita    300 mA
Tensione max. di uscita    5.000 V
Potenza max. di ingresso    < 1.300 W
Consumo max. di corrente    9 amp 
(senza PFC)
Tensione di rete     210...250 VAC
Efficienza    > 95 % (a potenza nominale)
Regolazione di potenza    Corrente elettrica: 0...300 mA
Potenza: 0...1.200 W
Burst: 100 µ...100 ms (impulso / tempo di pausa)
Deviazione     ± 5 % (dal valore massimo, compensazione di temperatura)
Raffreddamento    aria, max. 70 l/min, termoregolato
Temperatura ambiente    +15...+40 °C
Tempo di intervento per guasto di carico    Cortocircuito/circuito aperto < 1 sec, errore di controllo < 5 sec
Dimensioni    < 485 x 145 x 290 mm³ (bxhxt)
Peso    ca. 6,0 kg

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Generatore 13,56 MHz, 100 W 

Campi di applicazione generatori RF: 

  • Plasma a bassa pressione
  • Riscaldamento RF

Generatore RF 13,56 MHz, 100 W 

  • Potenza di uscita nominale RF: 100 watt
  • Frequenza: 13,560 MHz ± 100 ppm
  • Potenza di uscita RF regolabile: 0 - 100 watt, continua
  • Il generatore può essere alimentato ad impulsi: Min. on-time: 5µs
  • Impedenza: 50 ohm
  • Stabilità RF: inferiore al 5% (a seconda del dispositivo di adattamento utilizzato)
  • Protezione da discrepanza integrata (da circuito aperto a cortocircuito)
  • Discrepanza massima senza riduzione di potenza: VSWR = 1,2
  • RF attivabile a pieno carico
  • Alimentazione di rete: 88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz (con alimentatore esterno)
  • Potenza assorbita: max. 220 watt
  • Connessione per controllo remoto per: - RF On/Off - Impostazione della potenza RF (0...10 V = 0 ... 100 %)
  • Uscita RF: Presa N
  • Alimentazione di rete: modulo di alimentazione esterna
  • Massa: ca. 6,5 kg (generatore) più 1,0 kg (alimentatore)

Contattateci per una consulenza tecnica su questi impianti.

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Generatore 13,56 MHz, 300 W 

Campi di applicazione generatori RF: 

  • Plasma a bassa pressione
  • Riscaldamento RF

Generatore RF 13,56 MHz, 300 W 

  • Potenza nominale RF: 300 watt
  • Frequenza: 13,560 MHz ± 100 ppm
  • Potenza di uscita RF regolabile: 0 - 300 watt, continua
  • Il generatore può essere alimentato ad impulsi: Min. on-time: 5µs
  • Impedenza: 50 ohm
  • Stabilità RF: inferiore al 5% (a seconda del dispositivo di adattamento utilizzato)
  • Protezione da discrepanza integrata (da circuito aperto a cortocircuito)
  • Discrepanza massima senza riduzione di potenza: VSWR = 1,2
  • RF attivabile a pieno carico
  • Alimentazione di rete: 88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz 
  • Potenza assorbita: max. 580 watt
  • Connessione per controllo remoto per: - RF On/Off, Impostazione della potenza RF (0...10 V = 0 ... 100 %), Dispositivo di adattamento automatico, controllo PC o ’impianto al plasma
  • Uscita RF: Presa N
  • Alimentazione di rete: Connettore maschio (a parte) IEC con filtro
  • Massa: ca. 18 kg 

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Generatore LFG, 500 W

Potenza max. di uscita: 500 W
Corrente max. di uscita: 1,3 A
Tensione max. di uscita: 1200 VAC
Consumo max. di potenza: 560 W
Tensione di ingresso: 210...230VAC 50/60Hz
Corrente di ingresso: max 2,6 amp
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)
Modalità di adattamento della potenza: Modalità di corrente: 0,1A - 1,3A Modalità di potenza: 10 W - 500 W (tramite DSUB o connessione PC) con modalità ad impulsi:
•    Larghezza di impulso: 100 µs - 100 ms
•    Ritardo di impulso: 100 µs - 100 ms

Precisione: superiore a ±5 % del valore finale
Protezione da discrepanza in caso di circuito aperto e cortocircuito
•    Tempo di spegnimento per circuito aperto/cortocircuito
: < 1 sec
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di regolazione
: < 5 sec
Funzionamento in parallelo sincronizzato
Range di temperatura (in fase di funzionamento): +15 - +40 °C
Raffreddamento: max. 70 m³/h Raccordi del flusso d'aria:
•    DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi industriali (livello di tensione 24/10V)
Peso: 5,6 kg
Applicazioni:
•    generatori di plasma a bassa pressione

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Generatore LFG, 1000W

Potenza max. di uscita: 1200 W    
Corrente max. di uscita: 4 A    
Tensione max. di uscita: 1200 VAC    
Consumo max. di potenza: 1500 W    
Tensione di ingresso: 210...230 VAC 50/60 Hz    
Corrente di ingresso: max 3x 5 amp    
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)    
Modalità di adattamento della potenza: Modalità di corrente: 1A - 4A Modalità di potenza: 300 W - 3000 W (tramite DSUB o connessione PC) con modalità ad impulsi:
•    Larghezza di impulso: 100 µs - 100 ms
•    Ritardo di impulso: 100µs - 100ms    
Precisione: superiore a ±5 % del valore finale    
Protezione da discrepanza in caso di circuito aperto e cortocircuito
•    Tempo di spegnimento per circuito aperto/cortocircuito
: < 1 sec
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di regolazione
: < 5 sec    
Funzionamento in parallelo sincronizzato    
Range di temperatura (in fase di funzionamento): +15 - +40 °C    
Raffreddamento: max. 70 m³/h Portata d'aria    

Connettore:
•    DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi industriali (livello di tensione 24/10V)    
Peso: 18 kg    
Applicazioni:
•    generatori di plasma a bassa pressione    

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Generatore LFG, 3000W

Potenza max. di uscita: 3000 W    
Corrente max. di uscita: 10 A    
Tensione max. di uscita: 1200 VAC    
Consumo max. di potenza: 3600 W    
Tensione di ingresso: 210...230 VAC 50/60 Hz    
Corrente di ingresso: max 3x 7 amp    
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)    
Modalità di adattamento della potenza: Modalità di corrente: 1A - 4A Modalità di potenza: 300W - 3000W (tramite DSUB o connessione PC) con modalità ad impulsi:
•    Larghezza di impulso: 100µs - 100ms
•    Ritardo di impulso: 100µs - 100ms    
Precisione: superiore a ±5 % del valore finale    
Protezione da discrepanza in caso di circuito aperto e cortocircuito
•    Tempo di spegnimento per circuito aperto/cortocircuito
: < 1 sec
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di regolazione
: < 5 sec    
Funzionamento in parallelo sincronizzato    
Range di temperatura (in fase di funzionamento): +15 - +40 °C    
Raffreddamento: max. 70 m³/h Portata d'aria    

Connettore:
•    DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi industriali (livello di tensione 24/10V)    
Peso: 18 kg    
Applicazioni:
•    generatori di plasma a bassa pressione

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Generatore LFG, 5000W

Potenza max. di uscita: 5000 W
Corrente max. di uscita: 10 A
Tensione max. di uscita: 1200 VAC
Consumo max. di energia: 5700 A
Alimentazione di rete: 210...230VAC 50/60Hz
Corrente di ingresso: max 3 x 7 A
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)
Impostazione della potenza: Modalità corrente: 1A – 4A Modalità di alimentazione: 300 W – 3000 W
(tramite DSUB o connessione PC) Modalità burst:
•    Larghezza di impulso: 100 µs - 100 ms
•    Ritardo di impulso: 100 µs - 100 ms
Precisione: < ±5 % del valore finale
Disallineamento del carico per "uscita aperta" e "cortocircuito”
•    Tempo di spegnimento a carico aperto: < 1sec.
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di impostazione: < 5 sec
Funzionamento in parallelo sincrono
Range di temperatura di esercizio: +15 - +40 °C
Raffreddamento: max. 323 m³/h Portata d'aria (a temperatura controllata)
Interfacce:
•    DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi di controllo industriali (livello di tensione 24/10V)
Peso: 18 kg
Applicazione:
•    Generatore di plasma a bassa pressione

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Altri accessori generatori:

Misuratore della tensione bias

Si tratta di un dispositivo di misurazione, disponibile per i generatori kHz e MHz.

Tester di fuga di microonde

A causa della pericolosa radiazione, può essere utile installare un tester di fuga di microonde nei sistemi a microonde.

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