Tetra 45

SYSTÈMES PLASMA BASSE PRESSION (NETTOYAGE AU PLASMA)

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Les systèmes plasma Tetra 45 peuvent être combinés en diverses versions, comme un système modulaire. Les options les plus courantes en liaison avec les systèmes plasma Tetra 45 sont résumées ci-après.

Les chambres d'une hauteur de 125 mm et d'une largeur de 572 mm conviennent particulièrement bien aux pièces de grande surface. Grâce à la chambre en profilé d'aluminium extrudé permet de concevoir une longueur flexible.

 

  • Analytique (MEB et MET)
  • Archéologie
  • Automobile
  • Bioechnologie
  • Technologie de l'élastomère
  • Électrotechnique
  • Microscopie électronique
  • Mécanique de précision
  • Recherche et développement
  • Technologie des semi-conducteurs
  • Production en petites séries
  • Plasturgie
  • Technologie médicale
  • Technologie des microsystèmes
  • Cellules photovoltaïques
  • Ingénierie textile
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divers modèles

Modèle 2

Modèle 2, système standard
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
Chambre sous vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 572 mm x P 650 mm x H 125 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 3

Modèle 3, système standard
commande FULL PC (Windows 10 IoT) dans l'appareil de base type A
(larg. 850 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre sous vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 572 mm x P 650 mm x H 125 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 5

Modèle 5, système pour gaz corrosif (p. ex. pour gaz de traitement fluorés)
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
(larg. 850 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 572 mm x P 650 mm x H 125 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 6

Modèle 6, système pour gaz corrosif (p. ex. pour gaz de traitement fluorés)
commande FULL PC (Windows 10 IoT) dans l'appareil de base type A
(larg. 850 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 572 mm x P 650 mm x H 125 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Caractéristiques techniques

Équipement de base

  • Les dimensions de boîtiers varient en fonction des composants/options
  • Volume de chambre : varie en fonction de la longueur de la chambre
  • Alimentation en tension : 230 V ou 400 V / 3 phases

Alimentation en gaz

  • Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))

Chambres sous vide

  • Aluminium rectangulaire, porte à charnière (larg. 572 mm x H 125 mm (profondeur variable) env.)

Chargement

  • Support de pièce (option : refroidissement à eau), tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable

Systèmes de commande

  •     Commande Basic PC (Microsoft Windows CE)
  •     Commande Full PC (Microsoft Windows 10 IoT)

Mesure de pression

  •     Pirani
  •     Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)

Minuterie

  • Numérique

Générateurs

Fréquences :

  • 80 kHz : puissance 1000 W ou 3000 W
  • 13,56 MHz : puissance 0- 300 W  ; 0 - 600 W
  • 2,45 GHz : puissance 0- 600 W  ; 0 - 1200 W

 

 

Tous les générateurs sont progressivement réglables de 0 à 100 %

Pompes à vide

  • En plusieurs tailles et provenant de différents fabricants (avec filtre à charbon actif, si nécessaire)

Autres options

Kits de pièces de rechanges, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Plaque de chauffe, Indicateur de température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande

+49 7458 99931-0

Demandez l'avis d'experts au téléphone

info@plasma.com

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