Nano
ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ (PLASMACLEANER)
СДЕЛАТЬ ЗАПРОС техническая спецификация (PDF)
Плазменные системы Nano могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Nano. Плазменные системы Nano используются преимущественно в следующих областях:
Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая техника, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская техника, микросистемная техника, сенсорная техника, стерилизация, текстильные технологии
плазменных процессов
Очистка материалов
Плазменная техника предлагает решения для удаления любого вида загрязнений, обработки любого субстрата и любого способа дополнительной обработки. В процессе очистки снимаются даже молекулярные следы загрязнений.
Активация материалов
Обязательным условием для надлежащей адгезии связывающих компонентов при окрашивании, склеивании, нанесении методом печати и приварке является хорошая смачиваемость поверхности.
Травление материалов
Плазменная техника позволяет осуществлять неизотропное и изотропное травление. Изотропное травление выполняется путем химического травления, неизотропное травление – путем физического.
Нанесение покрытий на материалы
Плазма низкого давления используется для нанесения различных покрытий на заготовки. В этом процессе газообразные и жидкие исходные материалы подаются в вакуумную камеру.
Базовое оснащение
- Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
- Объем камеры: 18 - 36 литров (в зависимости от версии)
- Электропитание: 230 В для настольного устройства, 400 В / 3 фазы для напольного устройства
Вакуумные камеры
- Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 267 мм, длина 420 мм или 600 мм)
- Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 240 мм x В 240 мм x Г 420 мм или 600 мм)
- Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 240 мм x 240 мм, длина 420 мм или 600 мм)
- Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 240 мм, длина 400 мм или 600 мм)
- Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 240 мм, длина 400 мм или 600 мм)
Загрузка
- Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло
Системы управления
- Полуавтоматика
- Basic PC (Microsoft Windows CE)
- Full PC (Microsoft Windows 10 IoT)
Генераторы
Частоты:
- 100 кГц: мощность 500 Вт
- 80 кГц: мощность 1000 Вт
- 13,56 МГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт
- 2,45 ГГц: мощность 0 - 600 Вт
Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %
Опции
Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу.
