Nano

SYSTÈMES PLASMA BASSE PRESSION (NETTOYAGE AU PLASMA)

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Les systèmes plasma Nano peuvent être combinés en plusieurs versions, comme un système modulaire. Les options les plus courantes en liaison avec les systèmes plasma Nano sont indiquées ci-après. Les systèmes plasma Nano sont utilisés principalement dans les secteurs suivants : 

analytique, archéologie, automobile, services de recherche et développement, technologie des semi-conducteurs, production en petites séries, plasturgie, technologie médicale, technologie des microsystèmes, capteurs, stérilisation, ingénierie textile

Caractéristiques techniques

Équipement de base

  •     La taille des boîtiers varie en fonction des composants/options
  •     Volume de chambre : 18 - 36 litres, suivant la version
  •     Alimentation en tension : 230 V pour appareil de table, 400 V / 3 phases pour appareil sur pied

Alimentation en gaz

  • Vannes à aiguille
  • Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))

Chambres à vide

  • Acier inoxydable cylindrique avec couvercle (∅ 267 mm, L 420 mm ou L 600 mm env.) ou
  • Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 240 mm x H 240 mm x P 420 mm ou 600 mm)
  • Aluminium rectangulaire, porte à charnière (∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm ou L 600 mm env.)
  • Verre de quartz (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm env.)
  • Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm env.)

Chargement

  • Support de pièce (option : refroidissement à eau), récipients en verre de quartz, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable, verre borosilicate, verre de quartz

Électrodes

  •     Un ou plusieurs niveaux
  •     RIE

Systèmes de commande

  •     Semi-automatique
  •     Commande PCCE (Microsoft Windows CE)
  •     Commande PC (Microsoft Windows 10 IoT)
  •     Bouton rotatif

Mesure de pression

  •     Pirani
  •     Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)

Minuterie

  • Numérique

Générateurs

Fréquences :    

  • 100 kHz : puissance 500 W
  • 80 kHz : puissance 1000 W
  • 13,56 MHz : puissance 0- 100 W  ; 0 - 300 W
  • 2,45 GHz : puissance 0 - 600 W

Tous les générateurs sont progressivement réglables de 0 à 100 % 

Pompes à vide

  • En plusieurs tailles et provenant de différents fabricants (avec filtre à charbon actif, si nécessaire)

Autres options

Kits de pièces de rechanges, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Plaque de chauffe, Indicateur de température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Bride porte-échantillon MET, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande.

+49 7458 99931-0

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