Plasma à Basse PressionSystème plasma Nano
Système plasma polyvalent pour le laboratoire et l'industrie
Avec un volume de chambre de 18 - 24 litres, l'installation plasma Nano permet un traitement de surface par plasma flexible. Elle allie la flexibilité d'un système plasma modulaire à la performance d'une installation industrielle.
Demande
Système plasma pour applications exigeantes
Selon l'application, le système plasma Nano peut être conçu aussi bien sous forme d'appareil de table que d'installation sur pied. Il offre ainsi une flexibilité maximale pour l'intégration dans des environnements de travail existants.
Avec un volume de chambre de 18 - 24, le Nano est adapté aux composants de taille moyenne et aux exigences de processus les plus diverses. Les variantes de commande disponibles sont « semi-automatique », « Low Cost PC », « PC de base » et « PC complet », ce qui permet d’adapter individuellement la facilité d’utilisation et l’étendue des processus aux exigences spécifiques.
En cas d’utilisation de la commande « Full PC », l’installation peut être facilement intégrée dans un système MES. Les données de processus sont documentées et archivées, ce qui garantit une traçabilité sans faille et une sécurité de processus élevée.
La Nano est utilisée dans de nombreux secteurs, allant de l’analyse à la technologie des semi-conducteurs, en passant par la technologie médicale, la plasturgie et les microsystèmes. Elle séduit également par ses multiples possibilités d’application dans les départements de recherche et développement ainsi que dans le secteur automobile.
Nettoyage
La ligne Plasma à Basse Pression Nano propose des solutions pour le nettoyage ultra-précis de toutes les surfaces, pour tous les substrats et pour tous les traitements de finition. Le nettoyage au plasma élimine tous les résidus organiques sans endommager le composant par des moyens chimiques ou thermiques.
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Activation
Une bonne mouillabilité de la surface est une condition préalable à l'adhérence des matériaux lors des opérations de peinture, de collage, d'impression ou de liaison. L'activation par plasma de l'installation Plasma à Basse Pression Nano crée des sites de liaison polaires et augmente l'énergie de surface.
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Revêtement
L'installation Plasma à Basse Pression Nano permet également de modifier les surfaces par revêtement. Le revêtement par plasma permet de déposer des couches hydrophobes, hydrophiles, protectrices ou isolantes de toutes sortes.
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Gravure
La technologie plasma de l'installation Plasma à Basse Pression Nano permet une gravure anisotrope et isotrope. Cela permet d'obtenir des nanostructures à la surface, ce qui augmente leur surface spécifique et améliore l'adhérence.
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18 - 24 l de chambre
L'installation plasma Nano est dotée d'un volume de chambre de 18 - 24, ce qui la rend parfaitement adaptée aux composants industriels complexes. Pour les applications exigeant une grande pureté, des chambres en verre borosilicaté ou en verre de quartz sont disponibles. Celles-ci se distinguent par une résistance chimique garantissant une grande pureté du processus. Elles sont idéales pour les applications dans le domaine de la technologie médicale ou les travaux de laboratoire. Pour l’industrie, des chambres en acier inoxydable ou en aluminium sont disponibles, garantissant des processus industriels particulièrement sûrs et stables. Pour certaines applications, un tambour rotatif est également proposé afin d’assurer un traitement homogène.
Système modulaire
Le système plasma Nano peut être conçu de manière flexible selon un système modulaire, fruit de nombreuses années d'expérience et de concepts éprouvés de Diener electronic. Afin de faciliter son intégration dans un environnement de production existant, l’installation plasma Nano peut être montée dans un boîtier de table compact ou dans un boîtier sur pied robuste. Le choix du boîtier et de l’élément de commande s’effectue en fonction de la taille de la chambre. Le résultat est une installation de production sur mesure destinée à l'industrie et répondant à des applications exigeantes.
Industrie 4.0
Afin de répondre aux exigences croissantes de l'Industrie 4.0, Diener electronic propose en option le système plasma Nano équipé d'une porte automatique. Cela permet d'intégrer rapidement le système plasma dans un MES et de l'intégrer de manière optimale dans des lignes de production automatisées. La possibilité d'un chargement et d'un déchargement automatisés réduit les interventions manuelles, ce qui renforce la fiabilité du processus et garantit des processus reproductibles. Grâce à cette automatisation, l'installation plasma Nano assure un contrôle qualité efficace.
Commande
Grâce à la conception compacte du Nano en version de table, vous avez le choix entre les modèles LowCost, Basic PC et une commande semi-automatique intuitive. Avec la commande semi-automatique, les paramètres de processus sont réglables manuellement, ce qui rend son utilisation accessible sans connaissances préalables. Pour l’industrie, un boîtier sur pied robuste équipé d’une commande simplifiée « Low Cost » ou « Basic PC » avec des processus préréglés constitue la solution optimale. Pour les environnements de production exigeants, le système plasma Nano offre la possibilité d’opter pour une commande Full PC. Celle-ci permet l’archivage des processus, la gestion des listes d’alarmes et les connexions réseau. La transparence des processus et leur traçabilité constituent la base d’une production efficace et rentable.
Données techniques
Dimensions du boîtier
De table
Sur pied
Commande
Semi-automatique
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
Chambre à vide
Acier inoxydable, porte à charnière
⌀ 267 mm x
P 420 mm; Le volume environ 24 litres
Acier inoxydable, porte à charnière
L 240 mm x H 240 mm x P 420 mm; Le volume environ 24 litres
Aluminium, porte à charnière
L 240 mm x H 240 mm x P 420 mm; Le volume environ 24 litres
Optionnel: Profondeur extensible de manière variable jusqu’à 3000 mm maximum
Verre de quartz, porte à charnière
⌀ 240 mm x
P 400 mm; Le volume environ 18 litres
Verre borosilicaté, porte à charnière
⌀ 240 mm x
P 400 mm; Le volume environ 18 litres
Porte-pièces / Support de pièces
Porte-substrats plats, Acier inoxydable
Porte-substrats plats, Aluminium
Porte-substrats plats, Verre de quartz
Porte-substrats plats, Verre borosilicaté
Tambour rotatif, Aluminium
Porte-substrats plats, Aluminium
Bateau en verre de quartz, Aluminium
Générateur
100 kHz | Puissance 0 - 500 W
80 kHz | Puissance 0 - 1000 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 300 W
2,45 GHz | Puissance 0 - 600 W
Alimentation en gaz
MFC (Mass flow controller)
Vanne à aiguille
Électrode
Selon les souhaits du client
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Ou jauge capacitive
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Sous réserve de modifications techniques.
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Services de traitement de surfaceVariantes de modèles
Nano
Modèle 1
N° d’article: 1234561
Dimensions du boîtier
De tableL 540 mm x H 775 mm x P 800 mm
Commande
Basic PC
Chambre à vide
Aluminium
,
porte à charnière
L 240 mm x H 240 mm x P 420 mm
Le volume environ
24
litres
Générateur
100,00 kHz | Puissance 0 - 500 W
Alimentation en gaz
3 x MFC (Mass flow controller)
1 x Vanne à aiguille
Électrode
Électrode multi-niveaux
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Nano
Modèle 2
N° d’article: 1234562
Dimensions du boîtier
De tableL 540 mm x H 775 mm x P 800 mm
Commande
Basic PC
Chambre à vide
Verre de quartz
,
porte à charnière
⌀ 240 mm x
P 400 mm
Le volume environ
18
litres
Générateur
13,56 MHz | Puissance 0 - 300 W
Alimentation en gaz
3 x MFC (Mass flow controller)
Électrode
Électrode multi-niveaux
Mesure de la pression
Capteur de Pirani
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Dimensions du boîtier
Commande
Chambre à vide
Générateur
Alimentation en gaz
Électrode
Mesure de la pression
Alimentation électrique
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FAQ Questions fréquemment posées
Quelles surfaces peuvent être activées à l'aide de l'installation plasma Nano ?
L'installation plasma Nano de Diener electronic permet d'activer les surfaces suivantes : plastiques, métaux, verres, céramiques et textiles.
Quelles sont les possibilités de connexion à un système de commande logicielle offertes par le système Nano ?
Grâce à sa commande entièrement par PC, le système plasma Nano de Diener electronic offre les possibilités de connexion suivantes :
- des systèmes de commande de niveau supérieur, par exemple via Profinet
- système MES, par exemple via OPC UA
- Connexion à une base de données via ODBC
Le logiciel de commande du système plasma Nano peut-il être adapté à nos besoins ?
Sur demande, chez Diener electronic, nous adaptons le système de commande entièrement PC de la série Nano. N'hésitez pas à nous contacter à ce sujet.
Quelle quantité peut-on appliquer avec le système Nano lors du revêtement ?
Le système Nano de Diener electronic permet d'appliquer un revêtement jusqu'à l'échelle des micromètres inférieurs (< 1 micromètre).
Quels gaz peuvent être utilisés avec le Nano ?
Dans le Nano ainsi que, de manière générale, dans le plasma à basse pression, les gaz suivants peuvent être utilisés : O₂, N₂, Ar, air ambiant, CO₂, vapeur d'eau et gaz de formiation
Faut-il installer des filtres d'évacuation d'air sur le Nano ?
Oui, toutes les installations doivent impérativement être raccordées à un système d'évacuation d'air efficace, quel que soit le gaz utilisé. Ils génèrent des oxydes d'azote, des gaz d'échappement, de fins brouillards d'huile (dans le cas des pompes à huile), etc., qui ne doivent pas être inhalés ; de plus, ces gaz sont souvent acides, ce qui favorise la corrosion des pièces, machines et installations environnantes.
Les composants sensibles aux décharges électrostatiques peuvent-ils être manipulés avec le Nano ?
Oui, c'est possible avec le plasma à basse pression du Nano. Sur demande, nous pouvons réaliser un essai dans notre service des procédés.
Quelle est la plage de pression typique généralement observée dans la chambre à vide du Nano ?
La plage de pression typique du Nano est comprise entre 0,1 et 1,0 mbar (réglable), en fonction des procédés au plasma à basse pression définis.
Quelle est la température de traitement habituelle du Nano dans la chambre à vide ?
Sur le Nano de Diener electronic, la température varie généralement entre la température ambiante et environ 80 °C, en fonction du composant, du type de chambre, de la durée du processus et de la quantité chargée. Des températures plus élevées peuvent être atteintes sur demande auprès de Diener electronic à l'aide d'éléments chauffants.
Quelle est la fréquence de l'installation GHz Nano ?
Les générateurs du système GHz Nano fonctionnent sur la fréquence ISM de 2,45 MHz, avec une intensité comparable à celle d'un four à micro-ondes. Veuillez vous renseigner sur les consignes de sécurité applicables aux personnes portant un stimulateur cardiaque.
