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低壓等離子體等离子系统 Tetra 270

紧凑的机身内具备处理大型工件的大容量

该设备拥有270升的腔室容积,并配备了专为实现快速抽真空而设计的真空技术,可确保工艺的高效性和可重复性。尽管容积较大,但该等离子系统仍采用紧凑型、节省空间的外壳设计。

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适用于大型部件的高性能紧凑型等离子系统

凭借270升的宽敞腔体容积,Tetra 270可为大尺寸工件或多个组件提供充足的空间,使其能在单个工艺步骤中完成处理。这既缩短了换模时间,又提高了生产效率。

该设备的独特优势在于其经过优化的真空技术,专为实现快速抽真空而设计。这不仅缩短了工艺周期,还提高了表面处理的经济效益——特别是在重复性生产流程中。

等离子设备 Tetra 270 可根据具体需求进行个性化配置。多种控制选项、工艺模块和扩展功能,可精准满足您的需求。工艺数据可进行记录和归档,以确保高水平的工艺可靠性和可追溯性。

Tetra 270 适用于各种材料的清洗、活化、蚀刻和涂层处理,并支持后续工艺,例如粘合、涂层或喷漆。

清潔

低壓等離子體 系統 Tetra 270 提供適用於所有表面、各種基材及後處理工序的精密清潔解決方案。等離子清潔技術能徹底清除所有有機殘留物,且不會對元件造成化學或熱應力。

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鍍膜

低壓等離子體 設備 Tetra 270 亦可透過鍍膜來改性表面。在等離子鍍膜過程中,可沉積各類疏水、親水、保護或絕緣層。

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活化

在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中,要使結合夥伴產生作用,表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 270 所進行的等離子活化處理,能形成極性結合夥伴並提高表面能。

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蝕刻

低壓等離子體 設備 Tetra 270 所採用的等離子體技術,可進行各向異性與各向同性蝕刻。藉此可在表面形成奈米結構,以增大表面積並提升附著力。

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270升 腔室

低壓等離子體 系列 Tetra 270 设备配备了 270 升的大容量腔室,非常适合处理工业领域的大型零部件。该设备采用不锈钢腔室,可确保工业工艺过程的安全性和稳定性。 宽敞的腔室尺寸可同时处理复杂或多个部件,因此 Tetra 270 非常适合工业生产流程和批量应用。它在紧凑的模块化机箱中提供了最大的腔室容积,因此能够极好地适应现有的生产环境。 

电极

随着技术的进步,要求也在不断提高。选择Diener electronic,企业将受益于极高的投资安全性,因为Tetra 270等离子设备能够随着未来需求的发展而不断升级。 凭借灵活的模块化系统,可根据具体应用场景,为等离子系统 Tetra 270 选择单层或多层电极。对于复杂且体积较大的部件,建议安装单层电极。 对于将放置在多个层面的众多小型部件,则安装多层电极或旋转鼓式电极,以确保在等离子设备Tetra 270的各种应用场景中都能实现均匀处理。

控制

对于工业应用而言,配备预设工艺流程的简易型Low Cost或基础PC控制系统是最佳选择。针对要求苛刻的生产环境,等离子系统Tetra 270将配备全功能PC控制系统。 由此可实现工艺存档、报警列表、远程诊断和网络连接。工艺的透明度及其可追溯性,为使用等离子系统Tetra 270实现高效且经济的生产奠定了基础。

技术数据

外壳尺寸

立式

宽度
870 mm
高度
1910 mm
深度
1000 mm

控制装置

Low Cost PC (Windows CE)

Basic PC (Windows CE)

Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)

真空室

不锈钢, 铰链门
宽 600 mm x 高 600 mm x 深 750 mm; 卷 约 270 升

发电机

80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W

80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 600 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 1000 W

2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W

供气

MFC (Mass flow controller)

电极

单层电极

多层电极

RIE 电极

压力测量

皮拉尼传感器

容积式压力表

电源

400 V | 16 - 125 A

保留技术变更权利。

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表面处理服务

FAQ 常见问题

等离子表面预处理有哪些优点?

等离子体表面预处理技术可实现关键工艺,且无需采用湿法化学工艺。这种不含Volatile Organic Compounds(VOC)的工艺具有以下显著优势: 

  • 无需使用化学溶剂 
  • 工艺环节之间无需等待干燥时间
  • 改善健康保护
  • 加强环境保护
  • 即使在凹陷和空腔处也能实现均匀处理

利用等离子体可以进行哪些工艺?

  • 清洁 
  • 激活 
  • 蚀刻 
  • 涂层 

这些都是借助等离子体预处理技术使多种表面功能化的方法。 

Tetra 270可以用来处理哪些内容?

使用Diener electronic的Tetra 270,可以处理所有耐真空的材料。

Tetra 270能否处理对温度敏感的部件?

是的,由于这是冷等离子体,因此Diener electronic的低压等离子体设备Tetra 270适用于对温度敏感的元器件。

对静电敏感的元件可以使用Tetra 270进行处理吗?

是的,使用Tetra 270的低压等离子体可以实现这一点。如有需要,我们的工艺部门可为您进行测试。

Tetra 270中可以使用哪些气体?

在Tetra 270中以及一般低压等离子体中,可使用以下气体:O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气 

是否需要排气过滤器?

是的,无论使用何种气体,所有设备都必须连接到良好的排气系统! 运行过程中会产生氮氧化物、废气、细微油雾(油泵运行时)等,这些物质绝不能吸入;此外,这些气体通常呈酸性,因此会加速周围零部件、机器及设备的锈蚀。

Tetra 270这款GHz设备的工作频率是多少?

GHz系统Tetra 270的发电机使用2.45 MHz的ISM频段——其辐射强度与微波炉相当。请咨询有关心脏起搏器佩戴者的安全规定。 

等离子表面处理技术应用于哪些行业?

Diener electronic 的设备和系统已在以下行业成功应用: 

  • 光学
  • 精密机械
  • 电子
  • 汽车工业
  • 医疗
  • 航空与航天
  • 实验室技术
  • 塑料技术
  • 纺织技术及 
  • 珠宝及钟表行业 

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