低壓等離子體等离子系统 Tetra 270
紧凑的机身内具备处理大型工件的大容量
该设备拥有270升的腔室容积,并配备了专为实现快速抽真空而设计的真空技术,可确保工艺的高效性和可重复性。尽管容积较大,但该等离子系统仍采用紧凑型、节省空间的外壳设计。
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适用于大型部件的高性能紧凑型等离子系统
凭借270升的宽敞腔体容积,Tetra 270可为大尺寸工件或多个组件提供充足的空间,使其能在单个工艺步骤中完成处理。这既缩短了换模时间,又提高了生产效率。
该设备的独特优势在于其经过优化的真空技术,专为实现快速抽真空而设计。这不仅缩短了工艺周期,还提高了表面处理的经济效益——特别是在重复性生产流程中。
等离子设备 Tetra 270 可根据具体需求进行个性化配置。多种控制选项、工艺模块和扩展功能,可精准满足您的需求。工艺数据可进行记录和归档,以确保高水平的工艺可靠性和可追溯性。
Tetra 270 适用于各种材料的清洗、活化、蚀刻和涂层处理,并支持后续工艺,例如粘合、涂层或喷漆。
活化
在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中,要使結合夥伴產生作用,表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 270 所進行的等離子活化處理,能形成極性結合夥伴並提高表面能。
更多信息
270升 腔室
低壓等離子體 系列 Tetra 270 设备配备了 270 升的大容量腔室,非常适合处理工业领域的大型零部件。该设备采用不锈钢腔室,可确保工业工艺过程的安全性和稳定性。 宽敞的腔室尺寸可同时处理复杂或多个部件,因此 Tetra 270 非常适合工业生产流程和批量应用。它在紧凑的模块化机箱中提供了最大的腔室容积,因此能够极好地适应现有的生产环境。

电极
随着技术的进步,要求也在不断提高。选择Diener electronic,企业将受益于极高的投资安全性,因为Tetra 270等离子设备能够随着未来需求的发展而不断升级。 凭借灵活的模块化系统,可根据具体应用场景,为等离子系统 Tetra 270 选择单层或多层电极。对于复杂且体积较大的部件,建议安装单层电极。 对于将放置在多个层面的众多小型部件,则安装多层电极或旋转鼓式电极,以确保在等离子设备Tetra 270的各种应用场景中都能实现均匀处理。

控制
对于工业应用而言,配备预设工艺流程的简易型Low Cost或基础PC控制系统是最佳选择。针对要求苛刻的生产环境,等离子系统Tetra 270将配备全功能PC控制系统。 由此可实现工艺存档、报警列表、远程诊断和网络连接。工艺的透明度及其可追溯性,为使用等离子系统Tetra 270实现高效且经济的生产奠定了基础。
技术数据
外壳尺寸
立式
控制装置
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
真空室
不锈钢, 铰链门
宽 600 mm x 高 600 mm x 深 750 mm; 卷 约 270 升
发电机
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 600 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 1000 W
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W
供气
MFC (Mass flow controller)
电极
单层电极
多层电极
RIE 电极
压力测量
皮拉尼传感器
容积式压力表
电源
400 V | 16 - 125 A
保留技术变更权利。
FAQ 常见问题
等离子表面预处理有哪些优点?
等离子体表面预处理技术可实现关键工艺,且无需采用湿法化学工艺。这种不含Volatile Organic Compounds(VOC)的工艺具有以下显著优势:
- 无需使用化学溶剂
- 工艺环节之间无需等待干燥时间
- 改善健康保护
- 加强环境保护
- 即使在凹陷和空腔处也能实现均匀处理
利用等离子体可以进行哪些工艺?
- 清洁
- 激活
- 蚀刻
- 涂层
这些都是借助等离子体预处理技术使多种表面功能化的方法。
Tetra 270可以用来处理哪些内容?
使用Diener electronic的Tetra 270,可以处理所有耐真空的材料。
Tetra 270能否处理对温度敏感的部件?
是的,由于这是冷等离子体,因此Diener electronic的低压等离子体设备Tetra 270适用于对温度敏感的元器件。
对静电敏感的元件可以使用Tetra 270进行处理吗?
是的,使用Tetra 270的低压等离子体可以实现这一点。如有需要,我们的工艺部门可为您进行测试。
Tetra 270中可以使用哪些气体?
在Tetra 270中以及一般低压等离子体中,可使用以下气体:O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气
是否需要排气过滤器?
是的,无论使用何种气体,所有设备都必须连接到良好的排气系统! 运行过程中会产生氮氧化物、废气、细微油雾(油泵运行时)等,这些物质绝不能吸入;此外,这些气体通常呈酸性,因此会加速周围零部件、机器及设备的锈蚀。
Tetra 270这款GHz设备的工作频率是多少?
GHz系统Tetra 270的发电机使用2.45 MHz的ISM频段——其辐射强度与微波炉相当。请咨询有关心脏起搏器佩戴者的安全规定。
等离子表面处理技术应用于哪些行业?
Diener electronic 的设备和系统已在以下行业成功应用:
- 光学
- 精密机械
- 电子
- 汽车工业
- 医疗
- 航空与航天
- 实验室技术
- 塑料技术
- 纺织技术及
- 珠宝及钟表行业












