Generatori HF

Nell'elettronica e nel settore delle comunicazioni, si definisce alta frequenza la gamma di frequenze elevate di corrente elettrica e di campi elettrici e/o magnetici. I campi alternati ad alta frequenza vengono utilizzati per eccitare il plasma a bassa pressione. Non è necessaria la presenza di alta tensione. In condizioni di eccitazione ad alta frequenza, non c'è flusso di corrente, con conseguente bassa dissipazione di potenza e, soprattutto, basso aumento di temperatura. Ciò significa che i substrati a bassa resistenza termica, tra cui la maggior parte delle materie plastiche, possono essere trattati anche nel plasma a bassa pressione con eccitazione ad alta frequenza. Nella tecnologia del plasma possono essere utilizzate solo le frequenze ISMautorizzate della gamma kHz, MHze GHz. Consultare anche la voce:  
Accoppiamento a microonde
Magnetron
Reattore a tamburo
Reattore a piastre parallele
Elettrodo
Generatore. L'eccitazione ad alta frequenza, oltre alla scarica di gas, è la seconda tecnologia di base usata per la generazione di un plasma tecnico. L'eccitazione ad alta frequenza presenta il particolare vantaggio di assenza di flusso di corrente nel plasma e quindi il vantaggio di temperature e dissipazione di potenza non troppo elevate. Nella tecnologia al plasma si utilizzano le frequenze di eccitazione nelle gamme kHz, MHz e GHz.

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