Générateurs HF

Par haute fréquence, on désigne dans le domaine de l'électronique et de la technique de communication, les hautes fréquences du courant électrique et des champs électriques et/ou magnétiques. Les champs alternatifs à haute fréquence sont utilisés pour l'excitation de plasma basse pression. La haute tension n'est pas nécessaire. Lors de l'excitation à haute fréquence, il n'y a pas de flux de courant, donc une faible dissipation de puissance et, surtout, une faible montée de température. Cela signifie que des substrats de faible résistance thermique, en particulier pratiquement tous les plastiques, peuvent être traités en plasma basse pression avec excitation à haute fréquence. Dans la technologie plasma, il n'est possible d'utiliser que des fréquences ISM autorisées dans une plage de kHz, MHz et GHz. Voir pour cela aussi :  
Couplage micro-ondes
Magnétron
Réacteur tubulaire
Réacteur à plaques parallèles
Électrode
GénérateurOutre la décharge gazeuse, l'excitation à haute fréquence est la deuxième technologie de base pour générer un plasma technique. L'excitation à haute fréquence présente l'avantage particulier qu'il n'y a pas de flux de courant dans le plasma et donc pas de températures élevées ni de dissipation de puissance élevée. La technologie plasma utilise des fréquences d'excitation dans les plages de kHz, MHz et GHz.

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