ВЧ-генераторы

плазмы низкого давления . В высоком напряжении нет необходимости. Высокочастотное возбуждение не сопровождается протеканием тока, поэтому потери мощности и повышение температуры минимальны. Благодаря этому в плазме низкого давления с высокочастотным возбуждением можно обрабатывать субстраты с низкой термостойкостью, т.е. практически любые пластмассы. В плазменной технике могут использоваться только разрешенные ISM-частоты в кГц-, МГц- и ГГц-диапазоне. См. также:  
Микроволновая подача энергии
Магнетрон
Бочкообразный реактор
Реактор с параллельными пластинами
Электрод
ГенераторВысокочастотное возбуждение наряду с газовым разрядом является второй базовой технологией создания технической плазмы. Преимущество высокочастотного возбуждения заключается в том, что оно не сопровождается протеканием тока в плазме и связанными с этим высокими температурами и потерей мощности. В плазменной технике используются частоты возбуждения в кГц-, МГц- и ГГц-диапазоне.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете