
ВЧ-генераторы
плазмы низкого давления . В высоком напряжении нет необходимости. Высокочастотное возбуждение не сопровождается протеканием тока, поэтому потери мощности и повышение температуры минимальны. Благодаря этому в плазме низкого давления с высокочастотным возбуждением можно обрабатывать субстраты с низкой термостойкостью, т.е. практически любые пластмассы. В плазменной технике могут использоваться только разрешенные ISM-частоты в кГц-, МГц- и ГГц-диапазоне. См. также:
⇒Микроволновая подача энергии
⇒Магнетрон
⇒Бочкообразный реактор
⇒Реактор с параллельными пластинами
⇒Электрод
⇒ГенераторВысокочастотное возбуждение наряду с газовым разрядом является второй базовой технологией создания технической плазмы. Преимущество высокочастотного возбуждения заключается в том, что оно не сопровождается протеканием тока в плазме и связанными с этим высокими температурами и потерей мощности. В плазменной технике используются частоты возбуждения в кГц-, МГц- и ГГц-диапазоне.
