Generadores de alta frecuencia
En electrónica y tecnología de comunicaciones, el término "alta frecuencia" hace referencia a las altas frecuencias de la corriente eléctrica y de los campos eléctricos o magnéticos. Se utilizan campos alternos de alta frecuencia para excitar el plasma de baja presión. No es necesario aplicar alta tensión. En la excitación de alta frecuencia, no se produce flujo de corriente, por lo que tanto la pérdida de potencia como, sobre todo, el aumento de la temperatura se mantienen a niveles reducidos. Gracias a ello, en el plasma de baja presión con excitación de alta frecuencia, también es posible tratar sustratos que presenten una baja resistencia térmica, lo que implica, en particular, el tratamiento de casi cualquier plástico. En la tecnología del plasma, solamente pueden utilizarse frecuencias ISM autorizadas en los rangos de kHz, MHz y GHz. Ver también al respecto:
⇒ Acoplamiento de microondas
⇒ Magnetrón
⇒ Reactor de barril
⇒ Reactor de placas paralelas
⇒ Electrodo
⇒ Generador de tensión La excitación de alta frecuencia representa, aparte de la descarga de gas, la segunda tecnología fundamental para generar plasma técnico. La ventaja crucial de la excitación de alta frecuencia radica en que no se produce flujo de corriente en el plasma, por lo que tampoco se dan temperaturas ni pérdidas de potencia excesivas. La tecnología del plasma emplea frecuencias de excitación en rangos de kHz, MHz y GHz.
