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等离子技术为表面改性提供了非常广泛的可能性。为此，我们生产各种型号（尺寸、工艺、控制系统等）的等离子设备。等离子技术主要分为低压等离子和大气压等离子两类。
低成本低壓等離子體
卷 约 2 升
卷 约 1-3 升
卷 约 10 升
低壓等離子體
卷 约 2-4 升
卷 约 4-8 升
卷 约 18-24 升
卷 约 28-57 升
卷 约 46 升
卷 约 100 升
卷 约 150 升
卷 约 270 升
卷 约 322 升
卷 约 360 升
卷 约 640 升
卷 约 1000 升
卷 约 1440 升
卷 约 2827 升
台式
宽 425-525 mmx 高 257 mmx 深 420 mm
Low Cost PC
半自动
硼硅玻璃 , 铰链门 ⌀ 211 mm x 深 300 mm 卷 约 10 升
40.00 千赫 | 功率输出 0 - 200 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 30 W
MFC (Mass flow controller)
针型阀
-
皮拉尼传感器
230 V | 16 A
宽 425 mmx 高 185 mmx 深 450 mm
硼硅玻璃 , 铰链门 ⌀ 105 mm x 深 300 mm 卷 约 3 升
铝 , 带盖 ⌀ 150 mm x 高 60 mm 卷 约 1 升
40.00 千赫 | 功率输出 0 - 100 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 200 W
真空室外部
RIE 电极
宽 320 mmx 高 190 mmx 深 360 mm
硼硅玻璃 , 带盖 ⌀ 105 mm x 深 200 mm 卷 约 2 升
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 50 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 50 W
Tetra 2800
宽 600 mmx 高 1700 mmx 深 800 mm
Basic PC
Full PC
不锈钢 , 铰链门 ⌀ 1200 mm x 深 2500 mm 卷 约 2827 升
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 600 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 1000 W
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W
单层电极
多层电极
容积式压力表
400 V | 16 - 125 A
立式
宽 2350 mmx 高 2130 mmx 深 2030 mm
铝 , 铰链门 宽 1200 mm x 高 1200 mm x 深 1000 mm 卷 约 1440 升
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 5000 W
铝 , 铰链门 宽 1000 mm x 高 1000 mm x 深 1000 mm 卷 约 1000 升
宽 1950 mmx 高 2130 mmx 深 2030 mm
铝 , 铰链门 宽 800 mm x 高 800 mm x 深 1000 mm 卷 约 640 升
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 3000 W
铝 , 铰链门 宽 600 mm x 高 600 mm x 深 1000 mm 卷 约 360 升
宽 870 mmx 高 1910 mmx 深 1400 mm
铝 , 铰链门 ⌀ 640 mm x 深 1000 mm 卷 约 322 升
宽 870 mmx 高 1910 mmx 深 1000 mm
不锈钢 , 铰链门 宽 600 mm x 高 600 mm x 深 750 mm 卷 约 270 升
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
宽 600-870 mmx 高 1910 mmx 深 800-1000 mm
不锈钢 , 铰链门 宽 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm 卷 约 150 升
铝 , 铰链门 宽 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm 卷 约 150 升
铝 , 铰链门 宽 600 mm x 高 400 mm x 深 625 mm 卷 约 150 升
不锈钢 , 铰链门 宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm 卷 约 100 升
铝 , 铰链门 宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm 卷 约 100 升
铝 , 宽 572 mm x 高 125 mm x 深 650 mm 卷 约 46 升
100.00 千赫 | 功率输出 0 - 500 W
宽 600 mmx 高 1910 mmx 深 800 mm
不锈钢 , 铰链门 宽 305 mm x 高 305 mm x 深 370 mm 卷 约 34 升
不锈钢 , 铰链门 宽 305 mm x 高 300 mm x 深 625 mm 卷 约 57 升
铝 , 铰链门 宽 305 mm x 高 300 mm x 深 370 mm 卷 约 34 升
铝 , 铰链门 宽 305 mm x 高 300 mm x 深 625 mm 卷 约 57 升
石英玻璃 , 铰链门 ⌀ 300 mm x 深 400 mm 卷 约 28 升
硼硅玻璃 , 铰链门 ⌀ 300 mm x 深 400 mm 卷 约 28 升
40.00 千赫 | 功率输出 0 - 1500 W
宽 540 mmx 高 775 mmx 深 800 mm
不锈钢 , 铰链门 ⌀ 267 mm x 深 420 mm 卷 约 24 升
不锈钢 , 铰链门 宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 卷 约 24 升
铝 , 铰链门 宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 卷 约 24 升
石英玻璃 , 铰链门 ⌀ 240 mm x 深 400 mm 卷 约 18 升
硼硅玻璃 , 铰链门 ⌀ 240 mm x 深 400 mm 卷 约 18 升
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 600 W
根据客户要求
宽 540 mmx 高 510-775 mmx 深 600-800 mm
不锈钢 , 铰链门 ⌀ 150 mm x 深 319 mm 卷 约 6 升
不锈钢 , 铰链门 宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 卷 约 8 升
铝 , 铰链门 宽 150 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 卷 约 8 升
石英玻璃 , 铰链门 ⌀ 130 mm x 深 300 mm 卷 约 4 升
硼硅玻璃 , 铰链门 ⌀ 130 mm x 深 300 mm 卷 约 4 升
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 300 W
不锈钢 , 铰链门 ⌀ 100 mm x 深 277 mm 卷 约 2 升
不锈钢 , 铰链门 宽 103 mm x 高 103 mm x 深 285 mm 卷 约 3 升
铝 , 铰链门 宽 110 mm x 高 120 mm x 深 300 mm 卷 约 4 升
石英玻璃 , 铰链门 ⌀ 95 mm x 深 280 mm 卷 约 2 升
硼硅玻璃 , 铰链门 ⌀ 95 mm x 深 279 mm 卷 约 2 升
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 100 W
大气压等离子体
处理宽度 约 8 - 12 mm
处理宽度 约 3 - 5 mm
处理宽度 约 32 mm
处理宽度 约 120 mm
处理宽度 约 50 - 60 mm
宽 540 mmx 高 280 mmx 深 450 mm
手动控制
半自动控制
宽 180 mm x 高 60 mm x 深 40 mm 重量: 0.5 kg 电缆长度: 3 m
约 50 - 60 mm
输入压力: 0 - 0 bar（巴） 气体消耗: 0 l/min
40.00 千赫 | 功率输出 500 W
数量: 2 宽 180 mm x 高 60 mm x 深 40 mm 重量: 0.5 kg 电缆长度: 3 m
输入压力: 0 - 0 bar（巴） 气体消耗: 0 l/min / 喷嘴
宽 184 mm x 高 600 mm x 深 192 mm 重量: 30.0 kg 电缆长度: 3 m
约 120 mm
干燥无油压缩空气输入压力: 5 - 8 bar（巴） 气体消耗: 4 m³/h
40.00 千赫 | 功率输出 2 x 300 W
6 毫米快速插接隔舱接头
100 - 240 V
宽 540 mmx 高 510 mmx 深 600 mm
宽 34 mm x 高 85 mm x 深 207 mm 重量: 1.0 kg 电缆长度: 3 m
约 32 mm
干燥无油压缩空气输入压力: 5 - 8 bar（巴） 气体消耗: 8 m³/h
40.00 千赫 | 功率输出 4 x 300 W
宽 270 mmx 高 190 mmx 深 320 mm
⌀ 22 mm x 深 185 mm 重量: 0.9 kg 电缆长度: 2 m
约 3 - 5 mm
干燥无油压缩空气输入压力: 5 - 6 bar（巴） 气体消耗: 6 l/min
宽 370 mmx 高 140 mmx 深 330 mm
中间变压器
宽 205 mmx 高 115 mmx 深 230 mm
⌀ 32 mm x 深 210 mm 重量: 1.0 kg 电缆长度: 3 m
约 8 - 12 mm
干燥无油压缩空气输入压力: 5 - 8 bar（巴） 气体消耗: 2 m³/h
40.00 千赫 | 功率输出 300 W
PC上的过程可视化软件
Profinet 接口
数量: 2 ⌀ 32 mm x 深 210 mm 重量: 1.0 kg 电缆长度: 3 m
干燥无油压缩空气输入压力: 5 - 8 bar（巴） 气体消耗: 4 m³/h / 喷嘴
19英寸外壳
宽 420 mmx 高 133 mmx 深 500 mm
