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低壓等離子體Plasmassystem Tetra 640

用于工业工艺的模块化等离子设备

Tetra 640 低压等离子系统专为需要大腔体容积和高度适应性的工业应用而设计。 凭借640升的腔室容积以及采用模块化设计的真空腔室系统,该设备可灵活适应不同工件尺寸和工艺要求。

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模块化等离子处理设备,满足日益增长的生产需求

640 升的腔室容积使 Tetra 640 等离子设备既适用于大型单个零部件,也适用于在一个工艺循环内对多个工件进行经济高效的处理。 模块化真空腔体系统可根据不同的工件尺寸和未来的生产需求进行个性化调整。模块化设计确保了投资的安全性,即使在需求不断提升的情况下,也能实现长期使用。

根据具体配置,可提供多种 PC 控制系统——从标准化的工艺流程到具备工艺存档、警报管理及可选 MES 连接功能的全 PC 控制系统。由此,所有工艺参数均可被记录并实现可重复控制。

Tetra 640 可协助企业可靠地对表面进行预处理,以满足后续工艺(如粘合、涂层、喷漆或印刷)的需求。

 

清潔

低壓等離子體 系統 Tetra 640 提供適用於所有表面、各種基材及後處理工序的精密清潔解決方案。等離子清潔技術能徹底清除所有有機殘留物,且不會對元件造成化學或熱應力。

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活化

在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中,要使結合夥伴產生作用,表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 640 所進行的等離子活化處理,能形成極性結合夥伴並提高表面能。

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鍍膜

低壓等離子體 設備 Tetra 640 亦可透過鍍膜來改性表面。在等離子鍍膜過程中,可沉積各類疏水、親水、保護或絕緣層。

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蝕刻

低壓等離子體 設備 Tetra 640 所採用的等離子體技術,可進行各向異性與各向同性蝕刻。藉此可在表面形成奈米結構,以增大表面積並提升附著力。

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640升 腔室

低壓等離子體型Tetra 640设备配备了640升的大容量腔室,非常适合处理工业领域的大型零部件。 此外,腔体长度或深度可按 500 毫米为单位进行调整。为此,我们提供铝制腔体,可确保工业工艺过程的安全性和稳定性。 宽敞的腔室尺寸可同时处理复杂或多个工件,因此Tetra 640非常适合工业生产流程和批量应用。
模块化真空腔室系统可轻松集成到现有的生产环境中。 

电极

随着技术的进步,要求也在不断提高。选择Diener electronic,企业将受益于极高的投资安全性,因为Tetra 640等离子设备能够随着未来需求的发展而不断升级。 凭借灵活的模块化系统,可根据具体应用选择单层或多层电极。对于在处理腔内占据较大空间的复杂大型部件,建议选用能确保均匀处理的电极。 为了确保在各种应用场景下都能实现均匀处理,对于分布在多个层上的众多小型部件,通常会安装多层电极或旋转鼓式电极。

控制

对于要求严苛的工业生产环境,配备运行Windows IoT操作系统的全功能PC作为低壓等離子體 Tetra 640设备的控制单元是最佳选择。这确保了工艺数据归档、报警列表、远程诊断和网络连接功能。 工艺的透明度及其可追溯性为高效且经济的生产奠定了基础。多种硬件配置为需要执行的工艺提供了最大的灵活性。通过 PI/PID 压力控制器,可以实现压力稳定,从而确保工艺在任何时候都能精确可重复。 借助全PC控制系统,可更全面、更详细、更快速地掌握正在运行的工艺过程。

技术数据

外壳尺寸

立式

宽度
1950 mm
高度
2130 mm
深度
2030 mm

控制装置

Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)

真空室

铝, 铰链门
宽 800 mm x 高 800 mm x 深 1000 mm; 卷 约 640 升
可选: 深度可按500毫米步进模块化扩展

发电机

80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 1000 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 3000 W

供气

MFC (Mass flow controller)

电极

单层电极

多层电极

压力测量

皮拉尼传感器

容积式压力表

电源

400 V | 16 - 125 A

保留技术变更权利。

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表面处理服务

FAQ 常见问题

可以去除哪些杂质?

Diener electronic 的等离子设备可清除所有尺寸小于约 1 微米的有机薄膜污染物。

能否清除部件表面的金属切屑或灰尘?

很遗憾,无法清除表面上的金属屑或灰尘。

活化后的部件在进行后续加工前可以存放多长时间?

部件的存放时间取决于活化时间及材料类型,范围从几分钟到数月不等。因此,通常还需要在现场进行试验。

金属、陶瓷、玻璃和弹性体: 几小时
塑料(弹性体除外):数天、数周、数月

经过处理的零件应如何存放?

经过等离子处理后,建议不要将零件露天存放,因为它们会吸附灰尘、有机污染物和空气中的湿气。 

与露天存放相比,真空包装的零件保质期要长得多。

我们承接的加工委托业务中,所处理的零件均会与客户密切协商后进行包装,例如使用经过检测的无硅聚乙烯(PE)袋、防静电(ESD)包装,或客户提供的定制包装材料。

如何测量等离子体活化程度?

接触角/边缘
角 接触角是指观察静止液滴在固体表面的投影时,液滴轮廓的切线与固体表面在三相点处所形成的角度。 根据物理学定义,接触角小于90°的表面为亲水性(可润湿),大于90°的表面为疏水性(不可润湿)。通过等离子处理可以改变接触角(增大或减小)。 通过适当的等离子体工艺,或在等离子体工艺中涂覆合适的涂层,可将亲水表面转化为疏水表面(通过亲水涂层也可实现反向转化)。 

Diener electronic
提供的用于评估表面能的测试墨水: 如果测试墨水在涂布到表面后收缩,则该固体的表面能低于墨水的表面能;如果润湿状态得以保持,则该固体的表面能等于或大于液体的表面能。 通过使用一系列表面能分级的测试墨水,可以测定固体的总表面张力。不过,该方法无法确定表面能中的极性部分和非极性部分。

网格切割试验 
为检验涂层的附着力,需进行网格切割试验(标准:DIN EN ISO 2409 和 ASTM D3369-02)。涂装完成后,在塑料零件的涂层上进行网格状切割。 随后,将符合标准的胶带粘贴在切割网格上,压紧后猛地撕下。如果胶带上残留有漆膜,则说明涂层的附着力不足。因此,网格切割试验可反映塑料零件上漆层的附着力。

能否通过等离子聚合对塑料进行涂层处理?

通过等离子聚合工艺,对塑料进行涂层处理通常非常简单。关于是否能满足特定要求,Diener electronic 的工艺开发部门很乐意为您提供咨询。

例如,CD和DVD可以涂覆抗划伤涂层,且不会影响其质量。

还可以涂覆类似PTFE的涂层,以提高待处理物品的滑动性能。此外,还可以在塑料表面有针对性地引入官能团(例如用于生物分析应用的氨基)。

通过等离子聚合对金属进行涂层能产生哪些效果?

通过等离子聚合对金属进行涂层处理可实现多种效果,例如:激活效果可持续长达数周,以及除装饰性涂层外还能形成功能性涂层。 对于金属而言,一般特别适合使用溅射设备。

能否对金属进行蚀刻?

从原理上讲,金属蚀刻是可行的,但只能使用高腐蚀性气体,而这些气体又可能导致金属被腐蚀。 为了增强蚀刻效果,可以对工件进行预热——或者如果等离子设备中安装了腔室加热装置,则可以进行连续加热。

低压等离子体可以制备哪些涂层?其中使用了哪些单体?

低压等离子体主要适用于制备疏水/亲水、附着剂以及润滑剂涂层。
作为单体,通常使用含硅和含碳的物质。其中包括各种丙烯酸酯以及HMDSO类常见的含硅单体。 

哪些单体不能使用?

由于具有强烈的毒性,严禁将含卤素气体和单体(F2、Cl2、Br2、I)与大气等离子体一起使用!

低压等离子体技术能实现哪些涂层厚度?这些厚度又该如何测量?

根据涂层的不同,可以实现各种涂层厚度,这取决于多种因素,例如工件的几何形状、使用目的、涂层的柔韧性和稳定性等。我们的工艺技术部门很乐意为您提供相应的解决方案。 

粉末可以进行涂层处理吗?

是的,通过特殊工艺可以对粉末进行涂层处理。Diener electronic 专为粉末和散装物料设计的专用设备正是为此而设计的。

在Tetra 640系统中,除了氢之外还有其他替代方案吗?

如向Diener electronic咨询,该Tetra 640系统可考虑采用氢气发生器,或将水蒸气作为氢气的替代方案。

Tetra 640是否需要排气过滤器?

是的,无论使用何种燃气,所有设备都必须连接到有效的排气系统。 这些设备会产生氮氧化物、废气、细微的油雾(对于燃油泵而言)等,这些物质绝不能吸入;此外,这些气体通常呈酸性,因此会加速周围部件、机器和设备的锈蚀。

您有任何问题吗?

我们很乐意为您提供帮助。您可以轻松使用我们的联系表单;或者直接通过电子邮件或电话与我们联系。

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