Technologie plasma basse pression

Un système plasma basse pression réunit les composants de base suivants :

Récipient

Le récipient est un récipient sous pression étanche aux gaz. Pour éviter que des composants du récipient ne soient attaqués par l'effet du plasma, ils sont réalisés en acier inoxydable ou en verre de quartz de haute pureté. Ceci s'applique également aux composants dans le récipient : électrodes, supports de pièces, capteurs. Les autres composants du récipient sont la commande électronique de l'installation et tous les raccords de gaz et d'échappement.

Générateur

Des générateurs HF dans la plage LF (40 kHz), la plage RF (13,56 MHz) et la plage micro-ondes (2,45 MHz) sont disponibles pour l'excitation plasma.

Pompe à vide

L'unité de pompes peut comprendre des pompes à vide secondaire et à vide élevé, des filtres, flexibles et capteurs de mesure.

Vidéo du principe de la technologie plasma basse pression :

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