Плазменная техника низкого давления
- Реципиент
с электронной системой управления, фланцами для подачи газа, клапанами, датчиком давления и другими измерительными датчиками - ВЧ-генератор
- Вакуумный насос
возможно, с форвакуумным насосом и насосом высокого вакуума, фильтрами
Реципиент
плазмы , в качестве материала используется высококачественная сталь или высокочистое кварцевое стекло. Это относится и к компонентам в реципиенте: электродам, носителям материала, датчикам. Частями реципиента являются также электронная система управления и все газовые присоединения.
Генератор
Для возбуждения плазмы используются генераторы низкочастотного (40 кГц), высокочастотного (13,56 МГц) и микроволнового диапазона (2,45 ГГц).
Вакуумный насос
Насосный блок может включать в себя форвакуумный насос и насос высокого вакуума, фильтры, шланги и измерительные датчики.
