Плазменная техника низкого давления

Реципиент

плазмы , в качестве материала используется высококачественная сталь или высокочистое кварцевое стекло. Это относится и к компонентам в реципиенте: электродам, носителям материала, датчикам. Частями реципиента являются также электронная система управления и все газовые присоединения.

Генератор

Для возбуждения плазмы используются генераторы низкочастотного (40 кГц), высокочастотного (13,56 МГц) и микроволнового диапазона (2,45 ГГц).

Вакуумный насос

Насосный блок может включать в себя форвакуумный насос и насос высокого вакуума, фильтры, шланги и измерительные датчики.

Принцип плазменной техники низкого давления на видео:

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете