Tecnología del plasma de baja presión

Un sistema de plasma de baja presión consta de los siguientes componentes básicos:

Recipiente

El recipiente está presurizado y es estanco al gas. Para evitar el grabado de componentes del recipiente por efecto del plasma, los recipientes se fabrican en acero inoxidable o en vidrio de cuarzo de alta pureza. Esto también se aplica a los componentes del recipiente: electrodos, soportes de mercancías, sensores. También se consideran componentes del recipiente el control electrónico del sistema y todas las conexiones de entrada y salida de gases.

Generador de tensión

Para excitar el plasma, se ofrecen generadores de alta frecuencia en los rangos de baja frecuencia (40 kHz), radiofrecuencia (13,56 MHz) y microondas (2,45 GHz).

Bomba de vacío

La unidad de bomba puede comprender una bomba previa y una bomba de vacío alto, filtros, tubos flexibles y sensores de medición.

Vídeo del principio de la tecnología del plasma de baja presión:

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