Tecnología del plasma de baja presión
Un sistema de plasma de baja presión consta de los siguientes componentes básicos:
- Recipiente
con control electrónico, bridas para la alimentación de gas, válvulas, sensor de presión y, dado el caso, otros sensores de medición - Generador de alta frecuencia
- Bombas de vacío
dado el caso, con bomba previa y bomba de vacío alto, y con filtros
Recipiente
El recipiente está presurizado y es estanco al gas. Para evitar el grabado de componentes del recipiente por efecto del plasma, los recipientes se fabrican en acero inoxidable o en vidrio de cuarzo de alta pureza. Esto también se aplica a los componentes del recipiente: electrodos, soportes de mercancías, sensores. También se consideran componentes del recipiente el control electrónico del sistema y todas las conexiones de entrada y salida de gases.
Generador de tensión
Para excitar el plasma, se ofrecen generadores de alta frecuencia en los rangos de baja frecuencia (40 kHz), radiofrecuencia (13,56 MHz) y microondas (2,45 GHz).
Bomba de vacío
La unidad de bomba puede comprender una bomba previa y una bomba de vacío alto, filtros, tubos flexibles y sensores de medición.
