Lexikon der Oberflächentechnik
Niederdruck-Plasmatechnik
Eine Niederdruck-Plasmaanlage besteht aus den folgenden Grundkomponenten:
- Rezipient
mit elektronischer Steuerung, Flanschen zur Gaszufuhr, Ventilen, Drucksensor und ggfs. weiteren Messsensoren - HF-Generator
- Vakuumpumpe
ggfs. Vor- und Hochvakuumpumpen, Filtern
Rezipient
Der Rezipient ist ein gasdichter Druckbehälter.
Um zu vermeiden, dass Komponenten des Rezipienten durch die Wirkung des Plasmas geätzt wird, bestehen diese aus Edelstahl oder hochreinem Quarzglas. Dies gilt ebenso für die Komponenten im Rezipienten: Elektroden, Warenträger, Sensoren.
Bestandteile des Rezipienten sind außerdem die elektronische Anlagensteuerung und alle Gas- und Abgasanschlüsse.
Generator
Zur Plasmaanregung stehen HF-Generatoren im LF-Bereich (40 kHz), RF-Bereich (13,56 MHz) und Mikrowellenbereich (2,45 MHz) zur Verfügung.
Vakuumpumpe
Die Pumpeneinheit kann Vor- und Hochvakuumpumpe, Filter, Schläuche und Messsensoren umfassen.
