Глоссарий технологии обработки поверхностей
Вакуумный насос
плазменной технике является механический пластинчатый насосс масляным смазыванием. С его помощью достигаются давления от атмосферного до 10-3 мбар. При создании сверхвысокого вакуума в большинстве случаев используется пластинчатый насос для создания предварительного вакуума.