Glossaire de la technologie de surface
Pompe à vide
Le type de pompe le plus fréquemment utilisé non seulement dans la technologie du vide mais aussi dans la technologie plasma est la pompe à palettesmécanique, lubrifiée à l'huile. Elle permet l'obtention de pressions atnosphériques jusqu'à 10-3 mbars. Lorsque de l'ultravide doit être généré, on utilise la plupart du temps une pompe à palettes pour générer le vide préliminaire.