Precursor

(deutsch: Präkursor) Ausgangssubstanz für eine chemische Reaktion. In der Plasmatechnik ein Gas oder eine flüssige Substanz, die in einem Verdampfer in die Gasphase umgesetzt wird. Bildet in der Plasmakammer ein Prozessgas, das durch Plasma angeregt, ionisiert oder in Radikale aufgespaltet und dadurch äußerst reaktiv wird. Der Precursor wird dadurch als Ätzgas oder als Ausgangssubstanz für die Plasmapolymerisation aktiv.