Précurseur

Substance initiale pour une réaction chimique. Dans la technologie plasma, il s'agit d'une substance gazeuse ou liquide qui est convertie en phase gazeuse dans un évaporateur. Dans la chambre à plasma, il forme un gaz de traitement qui est excité par le plasma, ionisé ou décomposé en radicaux, devenant ainsi extrêmement réactif. Le précurseur devient alors actif comme gaz de gravure ou comme substance de départ pour la polymérisation plasma.