Precursor

Sustancia de partida para una reacción química. En la tecnología del plasma, se trata de un gas o bien de una sustancia líquida que se lleva a la fase gaseosa en un vaporizador. En la cámara de plasma, representa un gas de proceso que se excita, se ioniza o se divide en radicales por efecto del plasma, con lo que se vuelve extremadamente reactivo. En consecuencia, el precursor pasa a estar activo como gas de grabado o como sustancia de partida para la polimerización por plasma.