Прекурсор

плазменной технике это газ или жидкая субстанция, переходящая в испарителе в газовую фазу. Образует в плазменной камере технологический газ,который под действием плазмы возбуждается, ионизируется или расщепляется на радикалы с очень высокой химической активностью. Таким образом, прекурсор активно действует в качестве травящего газа или исходной субстанции при плазменной полимеризации .