Nanotechnologie

Die Nanotechnologie befasst sich mit der Wirkungsweise von Materie in aller kleinsten Dimensionen. Der Name entspricht den Abmessungen der betreffenden Strukturen im Bereich von einigen Nanometern. Ein Nanometer ist weniger als das Zehnfache eines Atomdurchmessers. Die Plasmatechnik ist in der Lage, gezielt in Dimensionen von Nanometern und darunter zu arbeiten. Dies ist sowohl der Fall bei der Plasmaätzung mit reproduzierbaren Rautiefen von einigen Nanometern als auch bei der Plasmabeschichtung.

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