Nanotechnologie

La nanotechnologie porte sur le mode de fonctionnement de la matière dans toutes ses dimensions les plus petites. Le nom correspond aux dimensions des structures concernées de l'ordre de quelques nanomètres. Un nanomètre représente moins de dix fois le diamètre d'un atome. La technologie plasma est en mesure de travailler à dessein dans des dimensions de l'ordre du nanomètre et en dessous. Ceci en est le cas aussi bien pour la gravure plasma avec des profondeurs de rugosité reproductibles de quelques nanomètres que pour le revêtement au plasma.