Microsystemtechnik

Technologie zur Herstellung von Mikrosystemen, im mikroskopischen Maßstab ausgeführte mechanische oder optische Bauteile, die oft zu Einheiten kombiniert sind, insbesondere auch mit mikroelektronischen Systemen.

Beispiele: Mikrosensoren, Mikroheizungen.

Strukturen der Mikrosystemtechnik werden oft mit den Arbeitsverfahren der Mikroelektronik erstellt, beispielsweise Anlage von Heizspiralen wie Leiterbahnen oder Ätzung mechanischer Bauteile mit den Methoden der Halbleiterstrukturierung (vgl. LIGA).

Die Plasmatechnik ist in der Mikrosystemtechnik vielfältig einsetzbar: Reinigen von Oberflächen vor dem Beschichten, Sputtern, Bedampfen, Bonden, Ätzen von Fotolacken, Metallbahnen Tiefenätzung in Halbleitern Schutzbeschichtung (hydrophob, antioxidativ) von fertigen Strukturen.