MEMS

микросистемной техники выполняется подключение малых механических устройств, например датчиков, вентилей, передаточных механизмов, зеркал и регуляторов, интегрированных в полупроводниковые чипы . MEMS устанавливаются в подушки безопасности автомобилей в качестве измерителей ускорения. Они дешевле и надежнее устройств, выполненных в традиционных технологиях. MEMS могут надувать подушки безопасности при регистрации замедления, с учетом размеров человека, которого необходимо защитить.