Chip

Das kleine Halbleiterplättchen, das zentraler Bestandteil des IC (integrierten Schaltkreise) ist. Wird zur Unterscheidung gegen alle möglichen anderen Chips (engl. für Splitter, Scheibchen) auch als "Halbleiter-Chip", oder, weil er in der Praxis fast immer aus Silizium besteht, als "Silizium-Chip" bezeichnet.

Oftmals wird als Chip, der als fertiges elektronisches Bauteil stets unsichtbar bleibt, auch die gesamte Schaltung einschließlich Kunststoffgehäuse und Anschlusskontakten bezeichnet. Um dieses Endergebnis des fertig, vergossenen Chip zu erhalten sind allerdings einige Herstellungsschritte notwendig, bei denen die Plasmatechnologie an einigen Stellen eingesetzt werden kann. Beispielsweise bei der Aktivierung des Chips vor dem Vergießen, oder der Plasmareinigung der Anschlusskontakte. Aber auch eine Plasma-Ätzung findet Anwendung, z. B. kann der "verpackte" Chip so wieder freigelegt werden.