Luftplasma

Oftmals wird im Niederdruckplasma oder im Atmosphärischen Plasma als Prozessgas für zur Plasmareinigung oder Plasmaaktivierung Luft in natürlicher Zusammensetzung verwendet. Oftmals kann Luftplasma anstelle von Sauerstoffplasma verwendet werden. Die Luft muss gereinigt und getrocknet sein.