LIGA

LIGA ist ausnahmsweise eine deutschsprachige Abkürzung und steht für LIthographie, Galvanik, Abformung.

Das Verfahren wurde vor rund 30 Jahren am damaligen Kernforschungszentrum entwickelt und eignet sich zur Herstellung feinster Strukturen und mikromechanischer Bauteile. Die Strukturabstände können minimal rund 0,2µm betragen, die Strukturhöhen bis zu mehrere Millimeter. Ein Verhältnis Höhe:Breite der Strukturen (Aspektverhältnis) von mehr als 50 ist möglich.

Das Verfahren kommt beispielsweise in der Feinoptik zum Einsatz oder auch bei der Herstellung kleinster mechanischer Bauteile wie Zahnräder für mikromechanische Getriebe. Die Bauteile können aus verschiedenen Kunststoffen, Metallen oder Keramiken bestehen.

Verschiedene Schritte des LIGA-Verfahrens entsprechen dem fotolithografischen Verfahren, das bei der Leiterplattenherstellung zum Einsatz kommt.